[發明專利]一種集成電路版圖與平板顯示版圖中基于最短距離的間距檢查結果分類方法

在審

• 申請號: 201510805540.1
• 申請日: 2015-11-20
• 公開（公告）號: CN106777419A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 馬海南;于士濤;范永興;路艷芳;楊曉東
• 申請（專利權）人: 北京華大九天軟件有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

一種集成電路版圖與平板顯示版圖中基于最短距離的間距檢查結果分類方法屬于半導體集成電路設計自動化領域，主要涉及如何將間距檢查結果按照違反間距規則嚴重程度排序，提高人工分類效率。

背景技術

間距檢查（Dimensional Check）是電子設計自動化的一個重要組成部分，源于集成電路版圖（Integrated Circuit，IC）設計流程，通常檢查的是導線寬度（Width）、導線間距（Space）等項目，輸出結果是違反間距規則的設計。平板顯示（Flat Panel Display，FPD）版圖的間距檢查借鑒于集成電路版圖。

二者存在類似的問題，即并非所有違規結果都要修改版圖，但版圖交付流片前必須迭代修改嚴重違反規則的設計，才能確保流片成功。目前，結果違規的嚴重程度主要依賴人工判斷，將所有結果分為需要修改版圖和不需要修改版圖兩類。

事實上，影響人工分類最重要的指標是間距檢查結果的最短距離。該距離指的是，對于某個間距檢查結果，其原始版圖幾何邊段之間所有距離的最小值。最短距離反映了導線之間的最小距離或某條導線的最小寬度等。最短距離值越小，違反間距檢查規則越嚴重，越容易發生短路或斷路，導致流片生產失敗。

在人工分類全部間距檢查結果的過程中，最重要的步驟就是對間距檢查最短距離的判斷。每判斷一個結果，就要將該結果反標到原始版圖上，利用尺子工具測量結果的最短距離，效率很低，測量準確度也不高。同時，從結果的最短距離的角度看，所有間距檢查的順序是混雜的，最短距離長的結果和短的結果混在一起，交替出現，這也影響了人工分類速度。如果能夠根據最短距離對全部結果進行排序，也就近似實現了按照違反間距規則嚴重程度排序，需要修改的版圖的結果大都集中在一起，不需要修改版圖的結果也大都集中在一起，可以顯著提高人工分類速度。

目前，在沒有最短距離的輔助下，對違規結果進行人工分類，工作效率很低。特別是每次修改版圖后迭代執行間距檢查時，又需要重新篩選結果，嚴重拖延了版圖設計流程。

通過本文發明內容及具體實施方式可知，利用最短距離對間距檢查結果輔助分類，方法簡單易行，不改變現有版圖設計流程，極易推廣普及。隨著集成電路與平板顯示電路規模日趨增大，版圖布局日益復雜，利用最短距離對間距檢查結果輔助分類必將成為一種趨勢，保障版圖設計流程高效運轉。

發明內容

本發明針對半導體集成電路設計自動化領域，對集成電路版圖與平板顯示版圖執行間距檢查后，人工手動分類檢查結果工作效率低，拖延了整個版圖設計流程的實際問題，提出了一種集成電路版圖與平板顯示版圖中基于最短距離的間距檢查結果分類方法。

本發明的創新之處在于，對集成電路版圖與平板顯示版圖執行間距檢查時，創造性的將間距檢查結果的最短距離同時計算出來，并附加到對應的間距檢查結果上。這一做法為加速后續的人工檢圖流程提供了諸多可能：既可以將最短距離線段與間距檢查結果同時反標到原始版圖，避免人工測量最短距離的繁瑣步驟，又可以基于最短距離值對全部間距檢查結果進行排序，近似實現了按照違反間距規則嚴重程度的結果排序，加速人工分類篩選。

本發明的主要技術方案包括以下三個方面：

第一，間距檢查結果最短距離的定義。

（1）對于某個間距檢查結果，最短距離定義為其原始版圖幾何邊段之間所有距離的最小值；為了反標到原始版圖便于人工觀察，最短距離表示為線段的形式，線段的起始端點來源于原始版圖的一個邊段，線段的終止端點來源于原始版圖的另一個邊段；

（2）線段起止端點的位置僅為了便于人工觀察，無嚴格規定，當某個間距檢查結果存在多處最短距離，例如原始版圖兩條幾何邊段相互平行時，任選一處最短距離線段即可；

（3）不同間距檢查結果的最短距離相互比較時，僅比較最短距離線段長度，即最短距離值的大小。

第二，間距檢查結果最短距離的計算方法。

（1）將原始版圖的幾何邊兩兩匹配，分別計算間距檢查結果；

（2）計算步驟（1）的間距檢查結果時，同時計算出該結果原始版圖幾何邊段之間所有距離的最小值；此處使用的是原始版圖的幾何邊段，而不是整條幾何邊，因為間距檢查結果可能只涉及原始幾何邊的片段；最短距離以線段的形式附加到間距檢查結果上；

（3）當若干間距檢查結果存在公共面積區域，需要進行結果合并時，將此若干結果中最短距離值最小的那條最短距離線段，作為合并后間距檢查結果的最短距離線段；當存在多條最短距離線段相等且同為最小值時，任選其中之一即可。