[發明專利]氣體傳感器

有效

• 申請號: 201510801122.5
• 申請日: 2015-11-19
• 公開（公告）號: CN105606533B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 馬藤·奧爾德森;埃里克·簡·盧思;阿加塔·沙基奇
• 申請（專利權）人: 恩智浦有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 倪斌

1.一種干涉儀設備，其特征在于，包括:

具有第一反射率的第一面；

具有第二反射率的第二面；

空腔，該空腔在干涉儀內并被安排在第一面和第二面之間，所述第一面和第二面包括高折射率材料和低折射率材料的堆棧，所述第二面具有輸入開口和輸出開口，所述輸入開口被配置為耦合來自外部環境的包含所涉物質的氣體到空腔，所述輸出開口被配置為允許干涉儀和空腔外部的環境之間的氣體再循環,其中所述第二面的反射率小于所述第一面的反射率；

電磁源輸入區域，被配置為接收電磁信號；和

電磁檢測器輸出區域，被配置為輸出響應于所述空腔內物質而調制的電磁信號。

2.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述第一面、第二面和空腔形成法布里-珀羅標準具。

3.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述電磁源輸入區域和檢測器輸出區域位于干涉儀的相對的兩個面上。

4.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述電磁源輸入區域和檢測器輸出區域位于干涉儀的同一個面上。

5.如權利要求4所述的設備，其特征在于：

所述空腔的該同一個面的反射率低于相對面的反射率。

6.如權利要求1所述的設備，其特征在于，進一步地包括:

電磁源，被耦合以提供電磁信號到電磁源輸入區域；和

電磁檢測器，被耦合以接收來自電磁檢測器輸出區域的調制的電磁信號。

7.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述輸入開口被配置為接收來自外界環境的以下至少一種：氣體、蒸汽、液體、分子或者粒子。

8.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述電磁信號頻率是在電磁波譜的紅外部分之內。

9.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述干涉儀包括基于第一面和第二面對應的反射系數的光程。

10.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述第一面或第二面的至少一個包括基于該面內的一組介質膜的反射系數。

11.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述第一面反射電磁信號的第一部分到第二面，第二面反射電磁信號的第二部分到第一面。

12.如權利要求1所述的設備，其特征在于：

所述干涉儀被耦合到以下至少一個：在各實施例中，干涉儀是嵌入到以下任意設備內部的：智能手機、平板電腦、智能手表、可穿戴計算裝置、汽車設備、煙道、室內空氣質量監控器、溫室、危險場所、漏氣檢測系統、填埋區監控裝置、酒精呼吸分析儀、麻醉設備、分光鏡設備、市民基礎設施、建筑物或者家庭自動化建筑自動化應用設備(HABA)。

13.一種氣體傳感器，其特征在于，包括：

具有第一反射率的第一面；

具有第二反射率的第二面；空腔，該空腔在傳感器內并被安排在第一面和第二面之間，所述第一面和第二面包括高折射率材料和低折射率材料的堆棧，所述第二面具有輸入開口和輸出開口，所述輸入開口被配置為耦合來自外部環境的包含所涉物質的氣體到空腔，所述輸出開口被配置為允許干涉儀和空腔外部的環境之間的氣體再循環，其中所述第二面的反射率小于所述第一面的反射率；

電磁源，被耦合以提供電磁信號到第一面和第二面中的至少一面；和

電磁檢測器，被耦合以接收來自第一面和第二面中的至少一面的響應于空腔內物質而調制的電磁信號。