[發(fā)明專利]一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510799428.1
• 申請日: 2015-11-18
• 公開（公告）號: CN105445491B
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴道鋅;馬可
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: G01P5/26
• 分類號: G01P5/26
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 林超

1.一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)，其特征在于：包括第一輸入波導(dǎo)(1)、第二輸入波導(dǎo)(2)、微諧振腔(3)、金屬層(4)、第一輸出波導(dǎo)(5)、第二輸出波導(dǎo)(6)和基底(7)，光信號從第一輸入波導(dǎo)(1)和第二輸入波導(dǎo)(2)分別輸入，一路光信號經(jīng)第一輸入波導(dǎo)(1)連接第一輸出波導(dǎo)(5)，另一路光信號經(jīng)第二輸入波導(dǎo)(2)連接第二輸出波導(dǎo)(6)，兩路光信號的輸入波導(dǎo)和輸出波導(dǎo)分別置于微諧振腔(3)的兩側(cè)，兩路光信號的輸入波導(dǎo)相互平行，兩路光信號的輸出波導(dǎo)向內(nèi)彎曲，兩路光信號的輸出波導(dǎo)上均鍍有用于作熱電極的金屬層(4)，被測流體從微諧振腔表面流過進(jìn)行檢測。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)，其特征在于：所述第一輸出波導(dǎo)(5)和第二輸出波導(dǎo)(6)的彎曲弧度不同于微諧振腔(3)圓弧弧度，使得光信號不會(huì)從輸出波導(dǎo)耦合到微諧振腔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)，其特征在于：所述的微諧振腔(3)采用微環(huán)、微盤、微球或光子晶體微腔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)，其特征是：所述輸出波導(dǎo)上的金屬層(4)采用光吸收系數(shù)較大的金屬。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)，其特征是：所述輸出波導(dǎo)上的金屬層(4)采用金、鋁、鎳或者鉻。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)，其特征是：所述的基底(7)上覆有用于加強(qiáng)熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)層(8)，熱傳導(dǎo)層(8)為采用良好導(dǎo)熱材料的薄層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微諧振腔的熱線式高靈敏度流速計(jì)，其特征是：所述的被測流體為液體或者氣體。