[發明專利]基板處理裝置及基板處理方法

在審

• 申請號: 201510795430.1
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN105467627A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 鬼頭義昭;鈴木智也;堀正和
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;B65H19/18;B29C65/00;B29C65/18;B29C65/50;B29C65/74;B29C65/78;C03B33/023;G02F1/1333
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;孫明軒

1.一種基板處理裝置，其特征在于，具有：

第1安裝部，其安裝卷繞有長條狀的第1基板的第1輥；

第2安裝部，其安裝卷繞有長條狀的第2基板的第2輥；

處理機構，其將所述第1基板和所述第2基板的某一個作為處理 基板，一邊沿長邊方向輸送一邊實施規定處理；

緩沖機構，其配置在所述處理機構與所述第1安裝部之間，將從 所述第1輥供給的所述第1基板在規定的最長儲存范圍內暫時儲存 后，向所述處理機構送出；和

基板連接更換機構，其在所述緩沖機構與所述第1安裝部之間切 斷所述第1基板，并且將從所述第2輥供給的所述第2基板的前端部 接合在所述切斷的所述第1基板的終端部，并向所述緩沖機構送出。

2.根據權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述基板 連接更換機構具有控制部，該控制部控制所述切斷動作及所述接合動 作，以使在將從所述第2輥供給的所述第2基板的前端部接合在成為 所述切斷的所述第1基板的終端部的位置上之后，切斷所述第1基板。

3.根據權利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，還具 有使所述第1基板的切斷動作與所述緩沖機構中的所述基板的儲存量 連動的連動控制部。

4.根據權利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，具有：

第3安裝部，其安裝將從所述處理機構排出的所述處理基板卷繞 回收的第3輥；

第4安裝部，其安裝將從所述處理機構排出的所述處理基板卷繞 回收的第4輥；

第2緩沖機構，其配置在所述處理機構與所述第3安裝部之間， 且在將從所述處理機構供給的所述處理基板在規定的最長儲存范圍 內暫時儲存之后，向所述第3輥送出；和

第2基板連接更換機構，其在所述第2緩沖機構與所述第3安裝 部之間切斷卷繞在所述第3輥上的所述處理基板，并且將所述切斷的 所述處理基板的前端部接合在與所述第4輥連接的第3基板的終端 部，并向所述第4輥送出。

5.根據權利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于，所述第2 基板連接更換機構具有第2控制部，該第2控制部控制所述切斷動作 及所述接合動作，以使在將所述第3基板的終端部接合在成為所述切 斷的所述處理基板的前端部的位置上之后，切斷所述處理基板。

6.根據權利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于，還具有使 所述處理基板的切斷動作與所述第2緩沖機構中的所述處理基板的儲 存量連動的第2連動控制部。

7.一種基板處理裝置，其特征在于，具有：

第1安裝部，其安裝卷繞有長條狀的第1基板的第1輥；

第2安裝部，其安裝卷繞有長條狀的第2基板的第2輥；

處理機構，其將所述第1基板和所述第2基板的某一個作為處理 基板，并一邊沿長邊方向輸送一邊實施規定處理；

緩沖機構，其配置在所述處理機構與所述第1安裝部之間，在將 從所述第1輥供給的所述第1基板在規定的最長儲存范圍內暫時儲存 后，向所述處理機構送出；和

基板連接更換機構，其在所述緩沖機構與所述第1安裝部之間切 斷所述第1基板，并且將從所述第2輥供給的所述第2基板的前端部 連結在所述切斷的所述第1基板的所述緩沖機構側的規定部分上，并 向所述緩沖機構送出。