[發(fā)明專(zhuān)利]一種正六棱柱狀的鎂摻雜氧化鋅薄膜的制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510792664.0 | 申請(qǐng)日： | 2015-11-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105481263B | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-10-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 易捷;王莽;楊穗 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 湘潭大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C03C17/23 | 分類(lèi)號(hào)： | C03C17/23;C04B41/50 |
| 代理公司： | 湘潭市匯智專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙)43108 | 代理人： | 冷玉萍 |
| 地址： | 411105 湖*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 棱柱 摻雜 氧化鋅 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種正六棱柱狀的鎂摻雜氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)在冰水中加入乙二醇，混合均勻；
(2)再加入醋酸鋅，攪拌使其充分溶解；
(3)再加入三乙醇胺，攪拌使其充分溶解；
(4)再加入醋酸鎂，攪拌使其充分溶解；
(5)再加入氨水，再攪拌均勻，得反應(yīng)溶液；
(6)將襯底材料垂直放入帶聚四氟乙烯內(nèi)襯的反應(yīng)釜中；
(7)將步驟(5)所得反應(yīng)溶液置于反應(yīng)釜中，在90～130℃恒溫反應(yīng)20～24小時(shí)后自然冷卻至室溫，取出襯底材料；
(8)將步驟(7)所得的襯底材料進(jìn)行洗滌，再在真空干燥箱內(nèi)60～80℃下干燥6～12小時(shí)；
(9)將步驟(8)所得的襯底材料在空氣中400～550℃恒溫退火1～2小時(shí)，再自然冷卻至室溫，獲得最終產(chǎn)物；
所述步驟(2)的醋酸鋅的濃度為0.077～0.23mol/L，所述步驟(3)的三乙醇胺的濃度為0.38～1.15mol/L，所述步驟(4)的醋酸鎂的濃度為0.077～0.23mol/L；所述步驟(5)中加入的氨水的濃度為0.21～0.35mol/L。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正六棱柱狀的鎂摻雜氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)的乙二醇和冰水的體積比范圍為0～1：5。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正六棱柱狀的鎂摻雜氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(6)的襯底材料為ITO玻璃，F(xiàn)TO玻璃，鉬玻璃，Si片中的任意一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的正六棱柱狀的鎂摻雜氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(6)的襯底材料在使用前先用丙酮、乙醇、異丙醇、氨水中的任意兩種超聲清洗10～30分鐘，再用去離子水超聲波清洗10～30分鐘后用N2吹干。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的正六棱柱狀的鎂摻雜氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(7)的反應(yīng)溶液的體積占反應(yīng)釜體積的60～80％。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的正六棱柱狀的鎂摻雜氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(8)的洗滌為去離子水和無(wú)水乙醇分別洗滌2～5次。
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