[發(fā)明專利]電子裝置、物理量傳感器、壓力傳感器以及高度計

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510780861.0
• 申請日: 2015-11-13
• 公開（公告）號: CN105600733A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田中信幸
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G01C5/06;G01L9/00
• 代理公司: 北京金信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子裝置、物理量傳感器、壓力傳感器、高度計、電子設(shè)備 以及移動體。

背景技術(shù)

已知一種電子裝置，其具有使用半導(dǎo)體制造工藝而形成的空洞部(例如， 參照專利文獻(xiàn)1)。作為這種電子裝置的一個示例，例如可列舉出專利文獻(xiàn)1 所涉及的MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微機(jī)電系統(tǒng))元件， 該MEMS元件具有基板、被形成在基板的主面上的諧振子、被形成在基板的主 面上并形成對諧振子進(jìn)行收納的空間的空間壁部。此外，專利文獻(xiàn)1所涉及 的MEMS元件的基板的一部分被形成為薄壁而作為隔膜發(fā)揮功能。而且，根據(jù) 伴隨著由受壓引起的隔膜的撓曲而產(chǎn)生的諧振子的頻率特性的變化，來對壓 力進(jìn)行檢測。

但是，在專利文獻(xiàn)1所涉及的MEMS元件中，由于空間壁部(側(cè)壁)的內(nèi) 周在俯視觀察時對應(yīng)于隔膜的俯視形狀而呈矩形形狀，因此在空間壁部的頂 部產(chǎn)生了熱收縮等時應(yīng)力會集中在頂部的與側(cè)壁的角部對應(yīng)的部分處，其結(jié) 果為，存在會在頂部中產(chǎn)生裂紋等損傷的問題。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014－115208號公報。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種具有優(yōu)異的可靠性的電子裝置以及物理量傳 感器，另外提供具備所涉及的電子裝置的壓力傳感器、高度計、電子設(shè)備以 及移動體。

這樣的目的通過下述的本發(fā)明來實現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本發(fā)明的電子裝置的特征在于，具備：基板；功能元件，其被配置在所 述基板上；壁部，其以在俯視觀察所述基板時包圍所述功能元件的方式而被 配置在所述基板的一面?zhèn)龋豁敳浚湎鄬τ谒霰诓慷慌渲迷谂c所述基板 相反的一側(cè)，并同所述基板及所述壁部一起構(gòu)成內(nèi)部空間，所述壁部的所述 頂部側(cè)的端部的內(nèi)周緣具有在俯視觀察時屈曲或彎曲成鈍角的曲部。

根據(jù)這種電子裝置，通過實質(zhì)上消除壁部的與基板相反的一側(cè)的端部的 內(nèi)周緣的在俯視觀察時屈曲成直角或銳角的部分(容易使頂部產(chǎn)生應(yīng)力集中 的部分)消除，從而能夠在產(chǎn)生了頂部的熱收縮等時減少頂部的應(yīng)力集中。 因此，能夠減少因頂部的熱收縮等而導(dǎo)致的損傷。由此，能夠提供一種具有 優(yōu)異的可靠性的電子裝置。

應(yīng)用例2

在本發(fā)明的電子裝置中，優(yōu)選為，所述曲部的數(shù)量在五個以上。

由此，即使壁部的與基板相反一側(cè)的端部的內(nèi)周緣具有在俯視觀察時屈 曲的部分，也能夠?qū)⒃摬糠值慕嵌热吭O(shè)為鈍角。即，能夠?qū)⒈诓康呐c基板 相反的一側(cè)的端部的內(nèi)周緣的在俯視觀察時屈曲成直角或銳角的部分在整周 上全部消除。

應(yīng)用例3

在本發(fā)明的電子裝置中，優(yōu)選為，所述曲部的形狀在所述俯視觀察時沿 著圓弧。

由此，能夠在產(chǎn)生了頂部的熱收縮等時有效地減少頂部的應(yīng)力集中。

應(yīng)用例4

在本發(fā)明的電子裝置中，優(yōu)選為，所述內(nèi)周緣的形狀在所述俯視觀察時 為圓形或橢圓形。

由此，能夠在產(chǎn)生了頂部的熱收縮等時有效地減少頂部的應(yīng)力集中。

應(yīng)用例5

在本發(fā)明的電子裝置中，優(yōu)選為，所述基板具有隔膜部，所述隔膜部被 設(shè)置于在俯視觀察時至少一部分與所述頂部重疊的位置處，并通過受壓而發(fā) 生撓曲變形。

由此，能夠?qū)崿F(xiàn)可對壓力進(jìn)行檢測的電子裝置(物理量傳感器)。

應(yīng)用例6

在本發(fā)明的電子裝置中，優(yōu)選為，所述功能元件為通過變形而輸出電信 號的傳感器元件。

由此，能夠使壓力的檢測靈敏度提高。

應(yīng)用例7

在本發(fā)明的電子裝置中，優(yōu)選為，在俯視觀察時，所述隔膜部的輪廓為 矩形。

由此，能夠使壓力的檢測靈敏度提高。

應(yīng)用例8

在本發(fā)明的電子裝置中，優(yōu)選為，所述內(nèi)周緣在所述俯視觀察時為矩形。

由此，能夠減少壁部無意間阻礙在俯視觀察時呈矩形的隔膜部的因受壓 而產(chǎn)生的撓曲變形的情況，并且高效地對壁部進(jìn)行配置。

應(yīng)用例9

本發(fā)明的物理量傳感器的特征在于，具備本發(fā)明的電子裝置，所述功能 元件為傳感器元件。