[發明專利]一種晶圓減薄高溫臨時粘結劑及其制備方法

在審

• 申請號: 201510768228.X
• 申請日: 2015-11-12
• 公開（公告）號: CN105238338A
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 薛興旺;王建斌;陳田安;解海華
• 申請（專利權）人: 煙臺德邦科技有限公司
• 主分類號: C09J179/08
• 分類號: C09J179/08;C09J11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓減薄高溫臨時粘結劑，其特征在于，按質量份計，由以下原料組成：溶劑65～85份、芳香族四羧酸二酐10～25份、二元胺1~10份、抗氧劑0.01～0.5份、流平劑0.01～0.5份。

2.根據權利要求1所述的臨時粘結劑，其特征在于，所述溶劑為N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亞砜中的一種。

3.根據權利要求1所述的臨時粘結劑，其特征在于，所述芳香族四羧酸二酐為均苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-二苯酮四羧酸二酐、3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、雙酚A型二醚二酐中的一種或兩種混合。

4.根據權利要求1所述的臨時粘結劑，其特征在于，所述二元胺為丙二胺、己二胺、間苯二胺、對苯二胺、2,4,6-三甲基-1,3-苯二胺、4,4-二氨基二苯醚、4,4'-二氨基二苯甲烷、4,4'-二氨基二苯砜、1,4-雙（4-氨基苯氧基）苯、4,4'-雙(4-氨基苯氧基)二苯砜中一種或兩種混合。

5.根據權利要求1所述的臨時粘結劑，其特征在于，所述抗氧劑為芳香胺和受阻酚中的一種；所述流平劑為聚醚改性硅氧烷、聚酯改性硅氧烷和烷基改性硅氧烷。

6.根據權利要求1所述的臨時粘結劑，其特征在于，制備方法，包括：

按質量份計，加入65～85份溶劑、10～25份芳香族四羧酸二酐、1～10份二元胺，在氮氣保護下室溫攪拌12小時；然后加入5~20份二甲苯，180℃加熱12小時；與上一步亞胺化反應生成的水共沸，除去水分和二甲苯，再加入0.01～0.5份抗氧劑、0.01～0.5份流平劑攪拌溶解完全即得到產品。