[發明專利]一種絕緣子RTV涂層厚度的測量方法有效
| 申請號: | 201510733835.2 | 申請日: | 2015-11-02 |
| 公開(公告)號: | CN105352443A | 公開(公告)日: | 2016-02-24 |
| 發明(設計)人: | 王希林;王晗;葉蔚安;賈志東 | 申請(專利權)人: | 清華大學深圳研究生院 |
| 主分類號: | G01B11/06 | 分類號: | G01B11/06 |
| 代理公司: | 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223 | 代理人: | 楊洪龍 |
| 地址: | 518055 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 絕緣子 rtv 涂層 厚度 測量方法 | ||
1.一種絕緣子RTV涂層厚度的測量方法,其特征是,包括如下步驟:
S1、用設定的脈沖激光對RTV涂層進行轟擊,記錄所述RTV涂層被擊穿時激光的轟擊次數x;
S2、根據f(x)=ax+b計算所述RTV涂層的厚度f(x);
其中,參數a和b通過如下實驗步驟確定:
用所述設定的脈沖激光對所述RTV涂層進行轟擊,記錄擊穿的RTV涂層的厚度與對應激光轟擊的次數;
擬合曲線f(x)=ax+b,得到所述參數a和b。
2.如權利要求1所述的絕緣子RTV涂層厚度的測量方法,其特征是,在步驟S1之前,還包括如下步驟:
確定當前測量的RTV涂層的材料是否與所述實驗步驟中的RTV涂層是否相同,如相同則執行步驟S1。
3.如權利要求1所述的絕緣子RTV涂層厚度的測量方法,其特征是,在步驟S1中,通過如下步驟確定所述RTV涂層被擊穿時激光的轟擊次數x:
S11、所述脈沖激光每轟擊一次所述RTV涂層,記錄轟擊產生的發射光譜,并記錄所述發射光譜中碳線和硅線的強度;
S22、當所述發射光譜中碳線強度出現極小值、且硅線強度上升時,則判斷所述RTV涂層被擊穿,記錄此時激光的轟擊次數x。
4.如權利要求1所述的絕緣子RTV涂層厚度的測量方法,其特征是,
在步驟S1中,調整激光器的透鏡,使所述激光器的聚焦焦點位于所述RTV涂層的上表面的下方設定位置。
5.如權利要求4所述的絕緣子RTV涂層厚度的測量方法,其特征是,聚焦焦點位于所述RTV涂層的上表面的下方、且至所述RTV涂層的上表面的距離不超過0.05mm。
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