[發(fā)明專利]用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的方法及裝置

在審

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• 申請日: 2015-10-30
• 公開（公告）號: CN105223786A
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發(fā)明（設計）人: 胡德瑩
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京聿宏知識產(chǎn)權代理有限公司 11372
• 代理人: 張少輝;劉華聯(lián)

技術領域

本發(fā)明屬于液晶顯示技術領域，具體涉及用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的方法及裝置。

背景技術

近年來，中小尺寸的液晶顯示器發(fā)展迅猛，在陣列層的生產(chǎn)過程中需要經(jīng)過多道光刻制程，而曝光機的鏡頭用于發(fā)出紫外光，該紫外光將膠片或其他透體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的陣列基板上，從而完成陣列層的多道光刻制程。

然而，由于TFTLCD工廠環(huán)境中通常含有機物(VOC)顆粒以及銨根正離子(NH4⁺)顆粒，曝光機鏡頭保存的環(huán)境對VOC濃度的要求需低于200ppb，而目前一般應用的G8.5代次TFTLCD工廠的VOC濃度通常大于1000ppb，在此濃度下，長時間的生產(chǎn)過程中會在曝光機鏡頭上形成顆粒堆積，造成玻璃透明度降低，即發(fā)生鏡頭霧化。曝光機的鏡頭發(fā)生霧化一方面可導致燈源壽命減少，造成產(chǎn)能損失；另一方面使燈源的更換以及清潔維護成本大大增加。

針對上述技術存在的問題，在本領域中希望尋求一種用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的方法和一種用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的裝置，以解決現(xiàn)有技術中的不足之處。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術的不足之處，提供了一種用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的方法以及一種用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的裝置。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的方法，包括：

確定鏡頭內(nèi)部的霧化位置；

在霧化位置處通入潔凈氣體以排除鏡頭的霧化位置處的雜質(zhì)氣體。

在現(xiàn)有技術中，由于鏡頭內(nèi)部隨工作時間的增加而致使內(nèi)部工作溫度逐漸升高，此時需要使用冷卻氣體對鏡頭內(nèi)部進行降溫，而目前應用的冷卻氣體通常為位于工廠廠房內(nèi)部的含有機物(VOC)顆粒以及銨根正離子(NH4⁺)顆粒成分較高的氣體，該成分氣體的進入會導致鏡頭內(nèi)部發(fā)生霧化，從而降低鏡頭的光透過率。在本發(fā)明的用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的方法中，首先對鏡頭內(nèi)部的霧化位置進行確定，隨后在霧化位置處通入潔凈氣體來排除霧化位置處的雜質(zhì)氣體，即使用潔凈氣體來趕走位于霧化位置處的雜質(zhì)氣體，從而使雜質(zhì)氣體不會在霧化位置處發(fā)生反應沉淀而致使鏡頭的光透過率下降。本發(fā)明的用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的方法有效地提高了鏡頭的透明度，使鏡頭無需經(jīng)常更換以及清潔維護，一方面提高了光刻制程過程中的產(chǎn)能，另一方面可延長鏡頭的使用壽命，大大降低了生產(chǎn)成本。

在一些實施方案中，鏡頭內(nèi)部的霧化位置通過對鏡頭的各部分的光透過率進行測試而得到。通過對鏡頭的各部分的光透過率進行測試來確定鏡頭內(nèi)部的具體霧化位置，對確定的霧化位置進行針對性的雜質(zhì)氣體排出，可有效防止鏡頭的霧化。

在一些實施方案中，潔凈氣體為不會使鏡頭發(fā)生霧化的氣體。值得注意的是，本發(fā)明中的潔凈氣體主要用于排除使霧化位置處的雜質(zhì)氣體，因此只要能夠保證該潔凈氣體不會使霧化位置發(fā)生霧化即可。優(yōu)選地，該潔凈氣體可以是不會使鏡頭發(fā)生霧化反應的氣體，例如惰性氣體等，也可以是雜質(zhì)顆粒濃度較低的空氣。

在一些實施方案中，雜質(zhì)氣體包括有機物顆粒和銨根正離子顆粒。能夠使鏡頭發(fā)生霧化的雜質(zhì)氣體的主要成分為機物顆粒和銨根正離子顆粒，對這些顆粒進行排除可大大降低鏡頭霧化反應的發(fā)生。

在一些實施方案中，潔凈氣體持續(xù)通入至霧化位置處。該方案用于持續(xù)排除霧化位置處的雜質(zhì)氣體，從而有效保證霧化位置處的清潔。

在一些實施方案中，還包括：在排除雜質(zhì)氣體的霧化位置處設置隔離罩，隔離罩包括進氣口和出氣口，潔凈氣體通過進氣口進入隔離罩內(nèi)，并且將隔離罩內(nèi)的雜質(zhì)氣體繼續(xù)通過出氣口排出。在該方案中，在已經(jīng)排除了雜質(zhì)氣體的霧化位置處設置隔離罩，隔離罩可對霧化位置進行保護，設置好隔離罩以后，繼續(xù)向進氣口通入潔凈氣體，從而進一步排出隔離罩內(nèi)可能存在的雜質(zhì)氣體，以避免雜質(zhì)顆粒對霧化位置的影響。

在一些實施方案中，進氣口朝向鏡頭內(nèi)部的霧化位置的邊緣。該方案將進氣口設置在霧化位置的邊緣可使霧化位置處的雜質(zhì)氣體更充分地排出隔離罩。當通入的潔凈氣體的密度較大時，出氣口可相應設置于進氣口的上方，此時潔凈氣體在隔離罩內(nèi)由下至上，并由霧化位置的邊緣向上流動，從而完全排出隔離罩內(nèi)的雜質(zhì)氣體；當通入的潔凈氣體的密度較小時，出氣口可相應設置于進氣口的下方，此時潔凈氣體在隔離罩內(nèi)由上至下，并由霧化位置的邊緣向下流動，從而完全排出隔離罩內(nèi)的雜質(zhì)氣體。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種用于防止鏡頭內(nèi)部霧化的裝置，包括設置在鏡頭內(nèi)部的霧化位置處的隔離罩。隔離罩主要用于對霧化位置與鏡頭內(nèi)部的其他部分進行隔離，從而防止鏡頭內(nèi)部環(huán)境中的雜質(zhì)氣體對霧化位置的影響。