[發明專利]一種帶有陶瓷襯套的可控溫盤面結構在審

申請號：	201510725508.2	申請日：	2015-10-29
公開（公告）號：	CN106653647A	公開（公告）日：	2017-05-10
發明（設計）人：	吳鳳麗;蘇欣;張建	申請（專利權）人：	沈陽拓荊科技有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;H01L21/683;H01L21/68;H01L21/687;C23C16/44;C23C16/458
代理公司：	沈陽維特專利商標事務所(普通合伙)21229	代理人：	甄玉荃,陳福昌
地址：	110179 遼寧省***	國省代碼：	遼寧;21
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種帶有陶瓷襯套可控盤面結構
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種帶有陶瓷襯套的可控溫盤面結構，其特征在于，該結構包括鋁盤與陶瓷襯套，所述鋁盤上設有三個通孔A和九個通孔B，鋁盤的內部還設有傳熱通道，所述傳熱通道上設有進口和出口；所述陶瓷襯套上設有凸臺和邊沿，陶瓷襯套的內部設有與所述三個通孔A位置對應的三個頂升銷套管，每個頂升銷套管中有通孔C，陶瓷襯套內部還設有與所述九個通孔位置相對應的九個支撐柱，陶瓷襯套的底部設有孔A與孔B，所述孔A與出口相通，所述孔B與入口相通；所述傳熱通道采用摩擦焊或釬焊的方式固定于鋁盤內部，所述鋁盤和陶瓷襯套扣合固定，使陶瓷襯套底部的三個頂升銷套管插入鋁盤邊緣處的三個通孔A內，使陶瓷襯套設置的九個支撐柱插入鋁盤中的九個通孔B中。

2.如權利要求1所述的一種帶有陶瓷襯套的可控溫盤面結構，其特征在于，所述九個支撐柱插入九個通孔B中使九個支撐柱的頂端高于鋁盤1的盤面。

3.如權利要求1所述的一種帶有陶瓷襯套的可控溫盤面結構，其特征在于，所述九個支撐柱的高度均相同。

4.如權利要求1所述的一種帶有陶瓷襯套的可控溫盤面結構，其特征在于，所述傳熱通道中通入液態傳熱介質或埋設加熱絲來實現溫度控制。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于沈陽拓荊科技有限公司，未經沈陽拓荊科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201510725508.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。