[發明專利]基于PDMS-磁性納米粒子復合薄膜的磁控微透鏡陣列制造方法

在審

• 申請號: 201510724862.3
• 申請日: 2015-10-30
• 公開（公告）號: CN105334553A
• 公開（公告）日: 2016-02-17
• 發明（設計）人: 彭倍;張遒姝;李輝;孫江濤
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G02B3/00
• 分類號: G02B3/00
• 代理公司: 四川君士達律師事務所 51216
• 代理人: 芶忠義

1.基于PDMS-磁性納米粒子復合薄膜的磁控微透鏡陣列的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

A：微透鏡陣列凹模板的制造：

1)采用旋涂技術將光刻膠均勻地涂在清洗過的基底上；

2)采用光刻技術在步驟1)所得的涂覆光刻膠的基底上形成光刻膠圓柱形結構陣列；

3)將步驟2)所得光刻膠圓柱形結構陣列置于烘干機上，加熱至光刻膠玻璃態轉化溫度以上，為達到系統能量最小化，光刻膠圓柱形結構轉變為球冠狀結構，冷卻后即得到微透鏡陣列母版；

4)將PDMS預聚物和固化劑(DowCorningSylgard184)按10:1的重量比混合，攪拌均勻后將混合物注入步驟3)所得微透鏡陣列母版，抽真空10分鐘以去除氣泡，然后置于烘干機上烘烤(烘烤溫度65℃，時間4小時)，使PDMS固化成型；

5)將步驟4)所得的已固化成型的PDMS從微透鏡陣列母版剝離，即得到PDMS微透鏡陣列凹模板；

B：基于PDMS-磁性納米粒子復合薄膜的磁控微透鏡陣列的制造：

1)將PDMS預聚物和固化劑按10:1的重量比混合，攪拌均勻后將混合物放入40KHz超聲波振蕩儀中振蕩25分鐘去泡，同時促進其進一步充分混合；

2)將步驟1)得到的混合物與有機溶劑氯仿按1:1的重量比混合，攪拌均勻后放入40KHz超聲波振蕩儀中振蕩10分鐘，用以去除氣泡，并使各成分均勻混合；

3)將磁性納米粒子以適當的重量比與步驟2)所得溶液混合，用玻璃棒攪拌2分鐘后，放入40KHz超聲波振蕩儀中振蕩30分鐘；

4)將步驟3)得到的PDMS-磁性納米粒子混合溶液旋涂于經防粘表面處理的PDMS微透鏡陣列凹模板表面；

5)將步驟4)獲得的旋涂了PDMS-磁性納米粒子混合溶液的微透鏡陣列凹模板放置于500mT強磁場中5分鐘，在強磁場作用下磁性納米粒子沿磁場方向重新排列，形成纖維狀微結構；

6)將經步驟5)處理后的旋涂了PDMS-磁性納米粒子混合溶液的微透鏡陣列凹模板置于烘干機上烘烤(烘烤溫度150℃，時間35分鐘)，當PDMS完全固化后將微透鏡陣列凹模板與微透鏡陣列分離，即得到基于PDMS-磁性納米粒子復合薄膜的磁控微透鏡陣列。