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[發明專利]一種快速高靈敏的光子晶體濕度傳感器的制備方法有效

專利信息
申請號: 201510716680.1 申請日: 2015-10-28
公開(公告)號: CN105352894B 公開(公告)日: 2018-06-22
發明(設計)人: 徐洪波;李垚;趙九蓬;楊昊巍 申請(專利權)人: 哈爾濱工業大學
主分類號: G01N21/25 分類號: G01N21/25
代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109 代理人: 侯靜
地址: 150001 黑龍*** 國省代碼: 黑龍江;23
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摘要:
搜索關鍵詞: 濕度傳感器 制備 光子晶體 靈敏 基底材料 力學性能 平行 組裝 傳感器領域 傳感器器件 靈敏度 膠狀
【權利要求書】:

1.一種快速高靈敏的光子晶體濕度傳感器的制備方法,其特征在于:該快速高靈敏的光子晶體濕度傳感器的制備方法按以下步驟制備:

取二氧化硅膠體粒子干粉5g分散在50ml的99%的無水乙醇中,配制成10%的SiO2膠體粒子的乙醇溶液;取響應聚合物PVA0.1g溶解在10ml的去離子水溶液中,配制成1%的響應聚合物PVA與水溶液;將SiO2膠體粒子與乙醇的混合溶液和響應聚合物PVA與水的前驅液按體積比為1:10混合制得組裝溶液;將玻璃基底放置于質量分數為98%硫酸和質量分數為30%的過氧化氫按體積比7:3的溶液中超聲清洗,隨后依次在丙酮,乙醇,超純水中超聲15min,然后在烘箱中烘干;去除基底表面的雜質,保證玻璃基底的親水和干凈;將玻璃基底浸漬到配好的組裝溶液中,將其移入培養箱中溫度60度,時間0.5h,通過控制培養箱的氣氛,控制培養箱的濕度為80%,乙醇蒸汽的含量20%,實現膠體粒子與響應聚合物的快速組裝,制備出穩定快速高靈敏的濕度傳感器;通過反射光譜,實現環境中水蒸氣的檢測;所述的穩定快速高靈敏的濕度傳感器的響應時間為1s。

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