[發(fā)明專利]減少寄生電容的液晶顯示面板以及其制作方法

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• 申請日: 2015-10-27
• 公開（公告）號: CN105242468A
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐洪遠
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種制造液晶顯示面板的方法，其包括下列步驟：

蝕刻形成于玻璃基板上的第一金屬層于以形成薄膜晶體管的柵極和掃描線；

形成所述薄膜晶體管的源極和漏極；

其特征在于：所述方法另包含：

在所述薄膜晶體管的源極和漏極之上形成依序形成鈍化層和彩色膜層；

蝕刻所述鈍化層和所述彩色膜層以形成貫穿所述鈍化層和所述彩色膜層的第一通孔以及第二通孔；

在所述彩色膜層上依序形成透明導(dǎo)電層和第二金屬層；以及

蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層，以在所述透明導(dǎo)電層形成第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)，在所述第二金屬層形成數(shù)據(jù)線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極分別通過所述第一通孔和所述第二通孔連接所述薄膜晶體管的源極和漏極，且所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)不連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層的步驟包含：

使用半色調(diào)掩膜蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層，其中所述半色調(diào)掩膜蝕具有不同透光率的區(qū)域，以同時形成被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)、被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)和未被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：在所述蝕刻形成于所述玻璃基板上的第一金屬層于以形成薄膜晶體管的柵極和掃描線的步驟之后，所述方法另包含：

在所述薄膜晶體管的柵極上形成絕緣層；以及

形成半導(dǎo)體層于所述絕緣層上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述彩色膜層包含紅色膜層、綠色膜層和藍色膜層。

6.一種液晶顯示面板，其包含：

玻璃基板；

掃描線，由第一金屬層構(gòu)成且位于所述玻璃基板上，用來傳遞掃描信號；

薄膜晶體管，位于所述玻璃基板上，其包含柵極、位于所述柵極上的絕緣層、位于絕緣層上的半導(dǎo)體層，以及位于所述半導(dǎo)體層及所述絕緣層上的源極和漏極；

其特征在于：所述液晶顯示面板另包含：

鈍化層，位于所述薄膜晶體管和所述掃描線上；

彩色膜層，位于所述鈍化層上，用于濾出不同顏色的光線；

透明導(dǎo)電層，位于所述彩色膜層之上，所述透明導(dǎo)電層通過貫穿所述鈍化層和所述彩色膜層的第一通孔以及第二通孔與所述薄膜晶體管的源極和漏極連接；及

數(shù)據(jù)線，由第二金屬層構(gòu)成，位于所述透明導(dǎo)電層上，用來傳遞數(shù)據(jù)信號。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板，其特征在于：所述透明導(dǎo)電層包含：

第一透明導(dǎo)電電極區(qū)，通過所述第一通孔與所述薄膜晶體管的源極連接；及

第二透明導(dǎo)電電極區(qū)，通過所述第二通孔與所述薄膜晶體管的漏極連接，且所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)不連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板，其特征在于：所述液晶顯示面板包含像素電極，所述像素電極是指未被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板，其特征在于：所述彩色膜層包含紅色膜層、綠色膜層和藍色膜層。