[發明專利]無限遠共軛距顯微物鏡雜散光測試儀及測試精度調節方法

在審

• 申請號: 201510703067.6
• 申請日: 2015-10-26
• 公開（公告）號: CN105181303A
• 公開（公告）日: 2015-12-23
• 發明（設計）人: 廖家勝;鞏巖;駱聰
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州生物醫學工程技術研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 史霞

1.一種無限遠共軛距顯微物鏡雜散光測試儀，其特征在于，依次包括：

光源，用于提供照明均勻的光；

成像裝置，用于接收所述光源發射的光并成像；所述成像裝置包括組合用于成像的無限遠共軛距顯微物鏡和管透鏡、位于所述無限遠共軛距顯微物鏡前焦面上并用于為所述無限遠共軛距顯微物鏡提供黑斑的黑體目標板；

三目觀察裝置，用于觀察保證測量時黑斑的位置放置正確；

濾光裝置，所述成像裝置出射的光通過所述濾光裝置過濾后輸出可見光波段；

第一光闌，其接收所述可見光波段并選擇所述可見光波段中所述黑斑的特定黑斑像區域的光用于測量；

測試積分球，其對接收的所述第一光闌選擇的測量光進行均光和衰減；以及，

光電倍增管，其用于測量經所述測試積分球均光和衰減的光的能量；

其中，所述三目觀察裝置依次包括：可上下移動的半五角棱鏡、分光棱鏡、空間棱鏡、直角棱鏡、第一目鏡以及第二目鏡；所述成像裝置成像后發射的光依次經過所述半五角棱鏡后方向轉變45度后經過所述分光棱鏡分成兩束反向平行光，所述兩束反向平行光中的一束通過所述空間棱鏡到達所述第一目鏡、另一束通過所述直角棱鏡到達所述第二目鏡。

2.如權利要求1所述的無限遠共軛距顯微物鏡雜散光測試儀，其特征在于，所述濾光裝置依次包括截止400nm以下光譜的高通濾光片以及截止700nm以上光譜的低通濾光片。

3.如權利要求1或2中所述的無限遠共軛距顯微物鏡雜散光測試儀，其特征在于，所述光源包括：

組合光源，其包括積分球面擴展光源和浸油處理的余弦漫透射片；以及，

第二光闌，用于改變所述組合光源的照明數值孔徑。

4.如權利要求3所述的無限遠共軛距顯微物鏡雜散光測試儀，其特征在于，所述積分球面擴展光源和所述余弦漫透射片通過發黑處理的連接筒連接。

5.一種如權利要求4所述的無限遠共軛距顯微物鏡雜散光測試儀的測試精度調節方法，其特征在于，

設所述積分球面擴展光源與所述余弦漫透射片之間的距離Z₀，所述積分球面擴展光源開口直徑r₀，所述余弦漫透射片口徑r₁，極坐標半徑r，所述積分球面擴展光源開口處光亮度值L₀；那么，

所述積分球面擴展光源開口至所述余弦漫透射片中心點光照強度為E(0)，且E(0)滿足：E(0)=L0Z02∫02πdα∫0r0rdr(Z02+r2)2=πL0r02Z02+r02;]]>

所述積分球面擴展光源開口至所述余弦漫透射片上距離其中心r₁處的光照度值為E(r₁)，且E(r₁)滿足：E(r1)=L0Z02∫02πdα∫0r0rdr(Z02+r2+r12-2r1rcosα)2;]]>

則，所述光源發出的光均勻性等于

即，E(r1)E(0)=L0Z02∫02πdα∫0r0rdr(Z02+r2+r12-2r1rcosα)2L0Z02∫02πdα∫0r0rdr(Z02+r2)2=πL0r02Z02+r02=∫02πdα∫0r0rdr(Z02+r2+r12-2r1rcosα)2∫02πdα∫0r0rdr(Z02+r2)2=πL0r02Z02+r02.]]>

6.如權利要求5所述的無限遠共軛距顯微物鏡雜散光測試儀的精度調節方法，其特征在于，

分別調節r₀、r₁以及Z₀，當r₀＝90mm、r₁＝20mm、Z₀＝100mm時，所述光源發出的光均勻性大于0.985。