[發明專利]烘烤爐在審
| 申請號： | 201510687573.0 | 申請日： | 2015-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN105206720A | 公開（公告）日： | 2015-12-30 |
| 發明（設計）人： | 劉開欣;謝楚盛;葉國梁 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372 | 代理人： | 朱繪;徐彥圣 |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 烤爐 | ||
【權利要求書】：
1.一種烘烤爐，用于對玻璃基板進行烘烤，其特征在于，所述烘烤爐包括爐體以及位于所述爐體內部的膛室；
所述膛室外設置有傳感器，用于感應所述膛室的入口處和出口處基板的出入。
2.根據權利要求1所述的烘烤爐，其特征在于，所述膛室的入口和出口為同一個出入口；
所述出入口處設置有第一傳感器和第二傳感器，且所述第二傳感器比所述第一傳感器更靠近所述出入口。
3.根據權利要求2所述的烘烤爐，其特征在于，所述第一傳感器和所述第二傳感器均設置在所述出入口的上方。
4.根據權利要求2所述的烘烤爐，其特征在于，所述第一傳感器和所述第二傳感器均為光傳感器。
5.根據權利要求2所述的烘烤爐，其特征在于，所述出入口處還設置有密閉門。
6.根據權利要求1所述的烘烤爐，其特征在于，所述膛室的入口和出口分別位于所述爐體的兩側；
所述入口處設置有第一傳感器，所述出口處設置有第二傳感器。
7.根據權利要求6所述的烘烤爐，其特征在于，所述第一傳感器設置在所述入口的上方，所述第二傳感器設置在所述出口的上方。
8.根據權利要求6所述的烘烤爐，其特征在于，所述第一傳感器和所述第二傳感器均為光傳感器。
9.根據權利要求6所述的烘烤爐，其特征在于，所述入口處和所述出口處均設置有密閉門。
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