[發明專利]一種太陽能硅片線痕檢測裝置

在審

• 申請號: 201510669663.7
• 申請日: 2015-10-13
• 公開（公告）號: CN105355578A
• 公開（公告）日: 2016-02-24
• 發明（設計）人: 尹昊;郭立;樊坤
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;戴玲

1.一種太陽能硅片線痕檢測裝置，包括硅片傳送帶（6）、固定支架（5）以及安裝在固定支架（5）上的激光器組件（3）和相機組件，所述激光器組件（3）和相機組件位于硅片傳送帶（6）上方且分設于硅片傳送帶（6）的兩側，其特征在于，所述激光器組件（3）包括激光發生器（8）和特殊透鏡組（10），所述激光發生器（8）用于向所述硅片（7）發射激光，所述特殊透鏡組（10）用于將激光發生器（8）發射的激光分成三束激光，所述三束激光在所述硅片（7）上形成三條不同角度的水平線激光（12），所述水平線激光（12）與所述硅片（7）上的線痕（13）的方向垂直；所述相機組件包括CCD相機（1）和聚光透鏡（2），所述CCD相機（1）用于接收激光發生器（8）發射的激光在硅片（7）上反射后形成的反射光，所述聚光透鏡（2）用于將硅片（7）表面反射過來的反射光聚集在CCD相機（1）的視場內，每束激光的入射角和反射角為銳角。

2.根據權利要求1所述的太陽能硅片線痕檢測裝置，其特征在于：所述激光器組件（3）還包括準直鏡（9），所述準直鏡（9）設于激光發生器（8）和特殊透鏡組（10）之間。

3.根據權利要求1或2所述的太陽能硅片線痕檢測裝置，其特征在于：所述激光器組件（3）和相機組件分別設置為兩組，一組激光器組件（3）和相機組件位于硅片傳送帶（6）上方，另一組激光器組件（3）和相機組件位于硅片傳送帶（6）下方。

4.根據權利要求1或2所述的太陽能硅片線痕檢測裝置，其特征在于：所述硅片傳送帶（6）下方設有用于控制CCD相機（1）啟動拍攝的拍照觸發傳感器（11）。

5.根據權利要求1或2所述的太陽能硅片線痕檢測裝置，其特征在于：所述激光器組件（3）和相機組件通過安裝架（4）可調節的安裝在固定支架（5）上。