[發明專利]薄膜晶體管陣列基板

在審

• 申請號: 201510660307.9
• 申請日: 2015-10-12
• 公開（公告）號: CN105355604A
• 公開（公告）日: 2016-02-24
• 發明（設計）人: 王明宗;梅文淋
• 申請（專利權）人: 深超光電(深圳)有限公司
• 主分類號: H01L23/00
• 分類號: H01L23/00;H01L27/12
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 44334
• 代理人: 汪飛亞

技術領域

本發明涉及一種薄膜晶體管陣列基板，尤其是一種具有保護面板上柵極驅動器(GateDriveronPanel,GOP)功能的薄膜晶體管陣列基板。

背景技術

薄膜晶體管陣列基板包括用于顯示圖像的有源區及設置有柵極驅動器的非顯示區，該柵極驅動器用于該顯示區供電與信號。在薄膜晶體管液晶顯示器的制造過程中，該柵極驅動器通過密封膠設置于彩色濾光片基板，該密封膠包括纖維與金球。通過密封膠由薄膜晶體管基板方向施加至彩色濾光片基板的力上保證該薄膜晶體管基板與該彩色濾片片基板緊密貼合。施加至該彩色濾光片基板的力可引起纖維或金球進入該柵極驅動器損傷元件、及該柵極驅動器的電容信號線等從而引起薄膜晶體管陣列基板功能異常。

發明內容

有鑒于此，有必要提供一種解決現有薄膜晶體管陣列基板上柵極驅動器易損壞的薄膜晶體管陣列基板。

一種薄膜晶體管陣列基板，具有顯示區及圍繞該顯示區設置的非顯示區，該薄膜晶體管陣列基板包括設置于該非顯示區用于為該顯示區輸出柵極信號的柵極驅動器；該柵極驅動器包括：

多個電容；

多個陣列基板柵極驅動結構；

多條連接于該多個電容與該多個陣列基板柵極驅動結構之間的傳輸線；

至少一與該多個電容絕緣的保護層，該至少一保護層形成于該多個電容、陣列基板柵極驅動結構及傳輸線上。

優選的，該至少一保護層由氧化銦錫制成。

優選的，該至少一保護層覆蓋所有電容、陣列基板柵極驅動結構及傳輸線。

優選的，每一陣列基板柵極驅動結構包括至少一柵極，覆蓋該至少一柵極的絕緣層，形成在該絕緣層上與該柵極對應的半導體層，一源極形成于絕緣層上且與該半導體層的一端連接，一漏極形成于絕緣層上且與該半導體層的另一端連接、一鈍化層覆蓋該源、漏極與該半導體層，該至少一保護層形成于該鈍化層上。

優選的，源極與漏極呈梳狀且相互交錯設置。

優選的，每一電容的其中一電極為該柵極，一絕緣層覆蓋該柵極，一電極設置在該絕緣層上與該柵極相對設置，及一鈍化層設置在該絕緣層上覆蓋該電極，該至少一保護層形成于每一電容的鈍化層上。

優選的，每傳輸線包括絕緣層，設置在絕緣層上的導線，設置在該絕緣層上覆蓋該導線的鈍化層，該至少一保護層形成于該每一傳輸線的鈍化層上。

優選的，該至少一保護層覆蓋一選擇的陣列基板柵極驅動結構，該選擇的陣列基板柵極驅動包括包括至少一柵極，覆蓋該至少一柵極的絕緣層，形成在該絕緣層上與該柵極對應的半導體層，一源極形成于絕緣層上且與該半導體層的一端連接，一漏極形成于絕緣層上且與該半導體層的另一端連接、一鈍化層覆蓋該源、漏極與該半導體層，該至少一保護層形成于該選擇的陣列基板柵極驅動結構的鈍化層上，且不占據其他陣列基板柵極驅動結構。

優選的，源極與漏極呈梳狀且相互交錯設置。

優選的，該至少一保護層覆蓋一選擇的電容，該選擇的電容的其中一電極為該柵極，一絕緣層覆蓋該柵極，一電極設置在該絕緣層上與該柵極相對設置，及一鈍化層設置在該絕緣層上覆蓋該電極，該至少一保護層形成于選擇的電容的鈍化層上，且不覆蓋其他電容結構。

優選的，該至少一保護層覆蓋一選擇的傳輸線，該選擇的傳輸線包括絕緣層，設置在絕緣層上的導線，設置在該絕緣層上覆蓋該導線的鈍化層，該至少一保護層形成于該選擇的傳輸線的鈍化層上，且不覆蓋其他傳輸線。

相較于先前技術，本發明的薄膜晶體管陣列基板的柵極驅動器上覆蓋保護層，從而可避免密封膠中的纖維或金球對柵極驅動器中元件的損壞。

附圖說明

圖1是本發明薄膜晶體管陣列基板的柵極驅動器第一實施方式的剖面示意圖。

圖2是本發明薄膜晶體管陣列基板的柵極驅動器第二實施方式的第一部分的平面示意圖。

圖3是圖2所示的柵極驅動器沿IV-IV線的剖面示意圖。

圖4是本發明薄膜晶體管陣列基板的柵極驅動器第二實施方式的第二部分的平面示意圖。

圖5是圖4所示的柵極驅動器沿VI-VI線的剖面示意圖。

圖6是本發明薄膜晶體管陣列基板的柵極驅動器第二實施方式的第三部分的平面示意圖。

圖7是圖6所示的柵極驅動器沿VIII-VIII線的剖面示意圖。

圖8是不同條件下導電線的刮傷實驗表。