[發明專利]一種電容式壓力傳感器

在審

• 申請號: 201510659878.0
• 申請日: 2015-10-14
• 公開（公告）號: CN105241584A
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 王文靖;郭群英;黃斌;陳博;陳璞
• 申請（專利權）人: 華東光電集成器件研究所
• 主分類號: G01L1/14
• 分類號: G01L1/14
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113
• 代理人: 楊晉弘

1.一種電容式壓力傳感器，包括固定電極與移動電極，其特征在于，所述移動電極包括上移動電極與下移動電極，上移動電極呈片狀且底面設有環形凹槽，下移動電極由固支框、固支梁與移動質量塊相鍵合構成，所述固支梁水平設于固支框內頂部，移動質量塊設于固支梁底面中心，移動質量塊頂面與底面均為平面；固支梁頂面中部與上移動電極的底面中部相鍵合，所述固支框的頂部與上移動電極的底面邊緣相鍵合；所述固定電極的頂部設有凹槽，固支框的底部與固定電極的頂部相鍵合；固支框與固定電極的鍵合處還設有絕緣氧化層。

2.根據權利要求1所述的一種電容式壓力傳感器，其特征在于，所述固支梁呈“一”字型或“十”字型。

3.根據權利要求1或2所述的一種電容式壓力傳感器，其特征在于，所述固定電極的凹槽底部設有一組凸點，所述凸點位于移動質量塊的下方。