[發明專利]氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液及其制備方法

在審

• 申請號: 201510658056.0
• 申請日: 2015-10-14
• 公開（公告）號: CN105273638A
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發明（設計）人: 周海;徐曉明;龔凱
• 申請（專利權）人: 鹽城工學院
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 楊海軍

1.一種氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：它由下列重量百分比的原料制成：

氧化鋁微粉1～10%，分散觸變劑1～5%，表面活性劑1～10%，煤油40～50%，烷烴20～30%，pH值調節劑1～3%，消沫劑0.01～0.03%，殺菌劑0.01～0.02%，助清洗劑0.01～0.1%。

2.根據權利要求1所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：它由下列重量百分比的原料制成：

氧化鋁微粉5～10%，分散觸變劑3～5%，表面活性劑5～10%，煤油45～50%，烷烴25～30%，pH值調節劑1～3%，消沫劑0.02%，殺菌劑0.02%，助清洗劑0.05%。

3.根據權利要求1或2所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：所述的氧化鋁微粉為α-Al₂O₃，微粉粒徑為0.5～15μm。

4.根據權利要求3所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：所述的分散觸變劑為聚乙烯醇和纖維素衍生物中的一種或幾種混合物，其中纖維素衍生物主要為羥乙基纖維素、氰乙基纖維素和乙基纖維素。

5.根據權利要求4所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：所述的表面活性劑為辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯醚、聚氧乙烯脫水山梨醇單油酸酯和硬脂酸甲酯聚氧乙烯醚中的一種或幾種混合物。

6.根據權利要求5所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：所述的煤油由烷烴、芳烴、環烴及不飽和烴組成的混合物，所述烷烴為含有11～13個碳原子的直鏈液態烷烴。

7.根據權利要求6所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：所述的pH值調節劑分為堿性和酸性兩種，其中堿性調節劑為有機堿pH值調節劑；其中酸性調節劑為鹽酸或磷酸中的一種或兩種混合物。

8.根據權利要求7所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液，其特征在于：所述的消沫劑為聚二甲基硅氧烷、聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚和聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚中的任意一種；所述的殺菌劑為異噻?啉酮和苯并異噻唑啉酮中的任意一種；所述的助清洗劑為異丙酮。

9.權利要求1所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）按權利要求1所述的重量百分比將煤油和烷烴混合，充分攪拌溶合，得到研磨液基液，靜置、冷卻至室溫，備用；

（2）在攪拌的條件下，按權利要求1所述的重量百分比將氧化鋁微粉、分散觸變劑和表面活性劑加入到步驟（1）所得的基液中，充分攪拌均勻，再使用超聲分散，得到研磨液中間液，靜置、冷卻至室溫，備用；

（3）按權利要求1所述的重量百分比將消泡劑、殺菌劑河助清洗劑加入到步驟（2）所得的中間液中，充分攪拌，得到準研磨液，靜置、冷卻至室溫，備用；

（4）測量步驟（3）中所得準研磨液的pH值，根據需要加入適量重量份額的酸性或堿性pH值調節劑，在攪拌的條件下緩慢滴加到準研磨液中，調節研磨液的pH值至8.0～9.0的范圍內，充分攪拌混合均勻后，得到氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液。

10.根據權利要求9所述的氧化鎵晶片抗解理懸浮研磨液的制備方法，所述的氧化鋁微粉為α-Al₂O₃，微粉粒徑為0.5～15μm；

分散觸變劑為聚乙烯醇和纖維素衍生物中的一種或幾種混合物，其中纖維素衍生物主要為羥乙基纖維素、氰乙基纖維素和乙基纖維素。