[發(fā)明專利]顯示器及其制造方法、制造裝置、顯示方法、可穿戴設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510657900.8
• 申請(qǐng)日: 2015-10-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105226078B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王志東;于靜;龍躍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/32
• 分類號(hào): H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11138
• 代理人: 鞠永善

1.一種顯示器，其特征在于，所述顯示器包括：

第一襯底基板；

所述第一襯底基板上形成有低溫多晶硅LTPS背板，所述LTPS背板形成有開(kāi)關(guān)控制電路；

形成有所述LTPS背板的第一襯底基板的非顯示區(qū)域形成有微機(jī)電系統(tǒng)MEMS微鏡陣列，所述MEMS微鏡陣列包括第一下電極、第二下電極、位于所述第一下電極和所述第二下電極之間的支撐柱，以及位于所述支撐柱上的上電極；

所述開(kāi)關(guān)控制電路用于：在所述顯示器需要進(jìn)行圖像顯示時(shí)，對(duì)所述上電極和所述第一下電極施加第一異性電壓，同時(shí)通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路禁止對(duì)所述上電極和所述第二下電極施加電壓，使所述上電極旋轉(zhuǎn)至能夠反射所述顯示區(qū)域的發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光的位置；或者，通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路對(duì)所述上電極和所述第一下電極施加所述第一異性電壓，同時(shí)通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路對(duì)所述上電極和所述第二下電極施加第一同性電壓，使所述上電極旋轉(zhuǎn)至能夠反射所述顯示區(qū)域的發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光的位置；

形成有所述MEMS微鏡陣列的第一襯底基板的顯示區(qū)域形成有所述發(fā)光結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器，其特征在于，所述顯示器還包括：

形成有所述發(fā)光結(jié)構(gòu)的第一襯底基板上形成有第二襯底基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器，其特征在于，

所述支撐柱由多晶硅，二氧化硅或鋁制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器，其特征在于，

所述發(fā)光結(jié)構(gòu)為電致發(fā)光結(jié)構(gòu)。

5.一種顯示器的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：

在第一襯底基板上形成低溫多晶硅LTPS背板，所述LTPS背板形成有開(kāi)關(guān)控制電路；

在形成有所述LTPS背板的第一襯底基板的非顯示區(qū)域形成微機(jī)電系統(tǒng)MEMS微鏡陣列，所述MEMS微鏡陣列包括第一下電極、第二下電極、位于所述第一下電極和所述第二下電極之間的支撐柱，以及位于所述支撐柱上的上電極；所述開(kāi)關(guān)控制電路用于：在所述顯示器需要進(jìn)行圖像顯示時(shí)，對(duì)所述上電極和所述第一下電極施加第一異性電壓，同時(shí)通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路禁止對(duì)所述上電極和所述第二下電極施加電壓，使所述上電極旋轉(zhuǎn)至能夠反射所述顯示區(qū)域的發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光的位置；或者，通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路對(duì)所述上電極和所述第一下電極施加所述第一異性電壓，同時(shí)通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路對(duì)所述上電極和所述第二下電極施加第一同性電壓，使所述上電極旋轉(zhuǎn)至能夠反射所述顯示區(qū)域的發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光的位置；

在形成有所述MEMS微鏡陣列的第一襯底基板的顯示區(qū)域形成所述發(fā)光結(jié)構(gòu)。

6.一種顯示器的制造裝置，其特征在于，所述制造裝置包括：

背板形成單元，用于在第一襯底基板上形成低溫多晶硅LTPS背板，所述LTPS背板形成有開(kāi)關(guān)控制電路；

微鏡陣列形成單元，用于在形成有所述LTPS背板的第一襯底基板的非顯示區(qū)域形成微機(jī)電系統(tǒng)MEMS微鏡陣列，所述MEMS微鏡陣列用于反射顯示區(qū)域的發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光，所述開(kāi)關(guān)控制電路用于控制所述MEMS微鏡陣列的開(kāi)啟和關(guān)閉；

發(fā)光結(jié)構(gòu)形成單元，用于在形成有所述MEMS微鏡陣列的第一襯底基板的顯示區(qū)域形成所述發(fā)光結(jié)構(gòu)。

7.一種顯示器的顯示方法，其特征在于，所述顯示器為權(quán)利要求1至4任一所述的顯示器，所述顯示器包括形成有低溫多晶硅LTPS背板的第一襯底基板的非顯示區(qū)域形成有微機(jī)電系統(tǒng)MEMS微鏡陣列，形成有所述MEMS微鏡陣列的第一襯底基板的顯示區(qū)域形成有發(fā)光結(jié)構(gòu)，所述LTPS背板形成有開(kāi)關(guān)控制電路，所述MEMS微鏡陣列包括第一下電極、第二下電極、支撐柱和上電極，所述顯示方法包括：

在需要進(jìn)行圖像顯示時(shí)，通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路控制所述上電極、所述第一下電極和所述第二下電極的電壓，使所述上電極旋轉(zhuǎn)至能夠反射所述顯示區(qū)域的發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光的位置；

在不需要進(jìn)行圖像顯示時(shí)，通過(guò)所述開(kāi)關(guān)控制電路控制所述上電極、所述第一下電極和所述第二下電極的電壓，使所述上電極旋轉(zhuǎn)至無(wú)法反射所述顯示區(qū)域的發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光的位置。