[發(fā)明專(zhuān)利]一種確定AlGaN外延層中Al組分的測(cè)試方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510655055.0
• 申請(qǐng)日: 2015-10-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105301024A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊曉波;李艷炯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十四研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/20
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/20
• 代理公司: 重慶信航知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50218
• 代理人: 江濤

1.一種確定AlGaN外延層中Al組分的測(cè)試方法，其特征在于，該測(cè)試方法包括以下步驟：

S1、利用X射線衍射儀的數(shù)據(jù)收集軟件，以紫外探測(cè)器用外延材料樣品中的AlN緩沖層作為假設(shè)襯底，在樣品的104方向找出最強(qiáng)峰，以此最強(qiáng)峰為中心做一個(gè)ω-2θ同步單掃描曲線，再根據(jù)所測(cè)試的樣品在該曲線上根據(jù)最表層外延層倒易空間掃描圖的峰值角度，找到一個(gè)介于表層與AlN緩沖層峰值角度之間的中心點(diǎn)；

S2、根據(jù)這個(gè)中心點(diǎn)的角度值，選擇ω掃描范圍和步進(jìn)以及ω-2θ掃描范圍和步進(jìn)，再進(jìn)入數(shù)據(jù)收集軟件做樣品的104方向倒易空間掃描；

S3、從倒易空間掃描圖譜中得到樣品的弛豫度R_S；

S4、繼續(xù)以該樣品中的AlN緩沖層為假設(shè)襯底，做一個(gè)含蓋AlN緩沖層及其外延層002方向的ω-2θ單掃描曲線；

S5、根據(jù)所述樣品的弛豫度R_S計(jì)算出樣品實(shí)際的平均弛豫度R，在X射線衍射儀的數(shù)據(jù)分析軟件中，再根據(jù)所述各個(gè)外延層的平均弛豫度R，調(diào)整各外延層的Al組分進(jìn)行擬合，得到一個(gè)與步驟S4中測(cè)試的所述002方向的ω-2θ單掃描曲線相吻合的搖擺曲線，并根據(jù)該搖擺曲線從分析軟件中得到各外延層的組分，從而達(dá)到確定AlGaN外延層中的Al組分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的確定AlGaN外延層中Al組分的測(cè)試方法，其特征在于，所述X射線衍射儀采用英.帕納科公司生產(chǎn)的型號(hào)為X’pertPRO的X射線衍射儀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的確定AlGaN外延層中Al組分的測(cè)試方法，其特征在于，所述平均弛豫度R＝弛豫度R_S/2。