[發明專利]一種磁電復合薄膜及其制備方法有效
| 申請號： | 201510654518.1 | 申請日： | 2015-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN106567040B | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發明（設計）人： | 董顯林;肖玲;陳瑩;王根水;劉振 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號： | C23C14/08 | 分類號： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58;H01L43/10;H01L43/12 |
| 代理公司： | 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;鄭優麗 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁電 復合 薄膜 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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