[發明專利]一種網版及其制備方法在審
| 申請號： | 201510654266.2 | 申請日： | 2015-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN105116687A | 公開（公告）日： | 2015-12-02 |
| 發明（設計）人： | 肖昂 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號： | G03F7/09 | 分類號： | G03F7/09;G03F7/00;B41F15/36 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;張天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 及其 制備 方法 | ||
1.一種網版，包括絲網和位于絲網一側的圖案層，其特征在于，所述圖案層包括形成圖案的至少一個開口；所述開口包括至少兩個子開口；所述子開口的尺寸從靠近所述絲網至遠離所述絲網依次遞減。
2.如權利要求1所述的網版，其特征在于，所述子開口的中心線在所述絲網上的正投影重合。
3.如權利要求1所述的網版，其特征在于，相鄰所述子開口的尺寸之差相等。
4.如權利要求1所述的網版，其特征在于，最靠近所述絲網的子開口的尺寸與最遠離所述絲網的子開口的尺寸之差為50-200um。
5.如權利要求1所述的網版，其特征在于，最遠離所述絲網的子開口在垂直于所述絲網方向的厚度為2-10um。
6.如權利要求5所述的網版，其特征在于，最遠離所述絲網的子開口在垂直于所述絲網方向的厚度為4-7um。
7.一種網版的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
在絲網的一側涂覆感光膠；
對所述絲網的涂覆感光膠的一側進行曝光、顯影形成最遠離所述絲網的子開口圖形，從所述絲網的涂覆感光膠的相對側進行至少一次曝光、顯影，形成至少一個子開口；其中，子開口的尺寸從靠近所述絲網至遠離所述絲網依次遞減；
或者，
從所述絲網的涂覆感光膠的相對側進行至少兩次曝光、顯影，形成至少兩個子開口；其中，子開口的尺寸從靠近所述絲網至遠離所述絲網依次遞減。
8.如權利要求7所述網版的制備方法，其特征在于，每個子開口在曝光時采用的各掩膜板上對應的子開口圖形的中心線在所述絲網上的正投影重合。
9.如權利要求7所述網版的制備方法，其特征在于，相鄰子開口在曝光時采用的掩膜板上對應的子開口圖形的尺寸之差相等。
10.如權利要求7所述網版的制備方法，其特征在于，最靠近所述絲網的子開口在曝光時采用的掩膜板上對應的子開口圖形尺寸與最遠離所述絲網的子開口在曝光時采用的掩膜板上對應的子開口圖形尺寸之差為50-200um。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司，未經京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201510654266.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
