[發(fā)明專利]可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置

有效

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• 申請日: 2015-09-30
• 公開（公告）號: CN105171537B
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設計）人: 林曉輝;湯輝煌;杜欣宇;劉建春
• 申請（專利權）人: 廈門理工學院
• 主分類號: B24B1/04
• 分類號: B24B1/04;B24B55/02;B24B41/00
• 代理公司: 泉州市潭思專利代理事務所(普通合伙) 35221
• 代理人: 麻艷

1.一種可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：包括拋光工具體(1)、用于磨削的磨盤(4)、柔性鉸鏈磨頭(5)以及可帶動拋光工具體進行超聲振動的超聲波振動裝置；該磨盤(4)可旋轉地安裝在該拋光工具體(1)上，其上設有若干孔(41)，所述的柔性鉸鏈磨頭(5)通過柔性鉸鏈安裝在該孔內；所述磨盤(4)中間設有一個所述的柔性鉸鏈磨頭(5)，在中間的柔性鉸鏈磨頭(5)外周放射性設有多個所述的柔性鉸鏈磨頭(5)，且位于磨盤(4)中間與周邊的柔性鉸鏈磨頭具有不同的彈性模量。

2.根據權利要求1所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：所述的磨盤(4)通過軸承(2)安裝在所述拋光工具體(1)的軸承孔內，并通過固定在該拋光工具體上的軸承端蓋(9)定位該軸承(2)。

3.根據權利要求1所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：所述的磨盤(4)通過一電機(13)帶動旋轉；所述的磨盤(4)上設有磨盤軸(6)，所述電機(13)的軸與該磨盤軸連接；所述的電機(13)固定在一支撐板(10)上，該支撐板則與所述的拋光工具體(1)連接。

4.根據權利要求1所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：所述的磨盤(4)及柔性鉸鏈磨頭(5)的磨削面設置有拋光墊(22)。

5.根據權利要求4所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：所述的拋光墊(22)通過熱熔膠分別粘貼于所述磨盤(4)和柔性鉸鏈磨頭(5)上。

6.根據權利要求1所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：所述的超聲波振動裝置包括壓電陶瓷(14)、超聲波發(fā)生器(15)、換能器(16)以及變幅桿(17)；該壓電陶瓷(14)安裝于拋光工具體(1)的一側側板上，與拋光工具體緊密貼著；該超聲波發(fā)生器(15)通過信號線連接到換能器(16)上，換能器再與變幅桿(17)連接，最后變幅桿(17)通過信號線連接于壓電陶瓷(14)上。

7.根據權利要求1所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：進一步設置有冷卻液管(21)，該冷卻液管的管口朝向磨盤(4)；所述磨盤(4)上方設置有環(huán)狀的磨盤蓋板(3)，該磨盤蓋板與磨盤緊密配合。

8.根據權利要求1所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：進一步設置有連接結構，該連接結構為固定在所述拋光工具體(1)一側側板的連接板(19)，該側板與連接板之間設置有緩沖片(18)。

9.根據權利要求1所述的可抑制光學元件中頻誤差的超聲振動拋光磨頭裝置，其特征在于：所述的柔性鉸鏈磨頭(5)根據實際情況設置有不同的數量、排列方式或者彈性模量。