[發(fā)明專利]一種用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)

有效

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• 申請日: 2015-09-30
• 公開（公告）號: CN105159036B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陸敏婷
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G05D23/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙)34115
• 代理人: 宋倩,奚華保

1.一種用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)包括溫度監(jiān)控模塊、溫度處理控制模塊和溫度控制執(zhí)行模塊；

所述溫度監(jiān)控模塊，用于實時采集曝光光源內(nèi)部工作溫度，并將所述曝光光源內(nèi)部工作溫度的測量值輸出至溫度處理控制模塊；

所述溫度處理控制模塊，用于根據(jù)預(yù)設(shè)的曝光光源內(nèi)部工作溫度的目標(biāo)基準(zhǔn)值及其允許誤差范圍，對所述曝光光源內(nèi)部工作溫度的測量值進行處理，并根據(jù)處理結(jié)果輸出控制信號至溫度控制執(zhí)行模塊；

所述溫度控制執(zhí)行模塊，用于根據(jù)所述溫度處理控制模塊發(fā)送的控制信號對曝光光源內(nèi)部工作溫度進行控制；

所述溫度控制執(zhí)行模塊包括第一散熱片、第一導(dǎo)熱硅脂、珀爾帖效應(yīng)元件、第二導(dǎo)熱硅脂和第二散熱片，所述第一散熱片、第一導(dǎo)熱硅脂和珀爾帖效應(yīng)元件集成于曝光光源內(nèi)部，所述第二導(dǎo)熱硅脂和第二散熱片設(shè)置在曝光光源外部；所述第一散熱片通過第一導(dǎo)熱硅脂連接珀爾帖效應(yīng)元件的制冷端，所述珀爾帖效應(yīng)元件的散熱端通過第二導(dǎo)熱硅脂連接第二散熱片，所述珀爾帖效應(yīng)元件的電流控制端連接溫度處理控制模塊的控制輸出端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)還包括溫度控制狀態(tài)顯示模塊；所述溫度控制狀態(tài)顯示模塊，用于根據(jù)溫度處理控制模塊對曝光光源內(nèi)部工作溫度測量值的處理結(jié)果，顯示曝光光源內(nèi)部工作溫度的實時狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)還包括溫度控制管理模塊；所述溫度控制管理模塊用于對溫度處理控制模塊實時反饋的曝光光源內(nèi)部工作溫度數(shù)據(jù)進行存儲和處理，并且當(dāng)曝光光源無法滿足曝光要求時，通過溫度處理控制模塊對曝光光源內(nèi)部工作溫度的目標(biāo)基準(zhǔn)值進行調(diào)整。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于：所述溫度監(jiān)控模塊主要由溫度傳感器構(gòu)成，所述溫度傳感器集成于曝光光源內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于：所述溫度處理控制模塊包括A/D轉(zhuǎn)換器、數(shù)據(jù)處理單元和溫度控制執(zhí)行驅(qū)動端口，所述A/D轉(zhuǎn)換器的輸入端連接溫度監(jiān)控模塊的輸出端，所述A/D轉(zhuǎn)換器的輸出端連接數(shù)據(jù)處理單元的輸入端，所述數(shù)據(jù)處理單元的輸出端通過溫度控制執(zhí)行驅(qū)動端口連接溫度控制執(zhí)行模塊的輸入端；

所述數(shù)據(jù)處理單元，用于實時判斷曝光光源內(nèi)部工作溫度的測量值是否超出目標(biāo)基準(zhǔn)值的允許誤差范圍，若未超出范圍，則通過溫度控制執(zhí)行驅(qū)動端口控制溫度控制執(zhí)行模塊停止工作，若超出范圍且低于目標(biāo)允許最小值，則通過溫度控制執(zhí)行驅(qū)動端口控制溫度控制執(zhí)行模塊停止工作，若超出范圍且高于目標(biāo)允許最大值，則通過溫度控制執(zhí)行驅(qū)動端口控制溫度控制執(zhí)行模塊開始工作。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于：所述溫度控制狀態(tài)顯示模塊包括溫度狀態(tài)LED顯示模塊和溫度異常蜂鳴報警模塊。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于直寫式光刻機曝光光源的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于：所述溫度控制管理模塊包括通信模塊和上位機；

所述通信模塊，用于將溫度處理控制模塊實時反饋的曝光光源內(nèi)部工作溫度數(shù)據(jù)發(fā)送至上位機，還用于將上位機生成的曝光光源內(nèi)部工作溫度的目標(biāo)基準(zhǔn)值調(diào)整信號發(fā)送至溫度處理控制模塊；

所述上位機，用于對曝光光源內(nèi)部工作溫度數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計，形成工作日志并存儲；還用于當(dāng)曝光光源內(nèi)部工作溫度正常但曝光光源已無法滿足曝光要求時，通過通信模塊向溫度處理控制模塊發(fā)送曝光光源內(nèi)部工作溫度的目標(biāo)基準(zhǔn)值調(diào)整信號。