[發明專利]一種伺服閥芯氣相沉積加工旋轉機構在審
| 申請號： | 201510632756.2 | 申請日： | 2015-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN105154845A | 公開（公告）日： | 2015-12-16 |
| 發明（設計）人： | 陳萬榮;陳修祥;周維虎;孫華平 | 申請（專利權）人： | 揚中中科維康智能科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/50 | 分類號： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 212211 江蘇省鎮*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 伺服 閥芯氣相 沉積 加工 旋轉 機構 | ||
【權利要求書】：
1.一種伺服閥芯氣相沉積加工旋轉機構，包括大齒輪、小齒輪、軸承、閥芯桿狀托盤、托盤上蓋、雙頭螺栓、螺母、底座、旋轉力輸入軸、變速箱等部件。可以一次對六個伺服閥芯進行氣相沉積處理。
2.根據權利要求1所述的一種伺服閥芯氣相沉積加工旋轉機構，其特征在于：采用大齒輪與六個小齒輪相嚙合，其中所述的六個小齒輪在大齒輪上呈周向等間距布置，這六個小齒輪可隨著大齒輪做同步旋轉，以保證每個伺服閥芯都與鍍層氣體均勻接觸。
3.根據權利要求1所述的閥芯桿狀托盤，其穿過氣相沉積爐底盤安裝在小齒輪上，閥芯桿狀托盤的旋轉運動通過小齒輪的旋轉來實現。
4.根據權利要求1所述的托盤上蓋，其與閥芯桿狀托盤相配合，可以將不同尺寸的伺服閥芯通過雙頭螺栓與螺母夾持在閥芯桿狀托盤上，使伺服閥芯隨著閥芯桿狀托盤的旋轉而旋轉。
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