[發明專利]卷對卷浸漬鍍膜系統以及柔性透明導電材料的制備方法

有效

• 申請號: 201510632354.2
• 申請日: 2015-09-25
• 公開（公告）號: CN105355706B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 林清耿;劉江;陳治宇;王洋
• 申請（專利權）人: 惠州易暉光電材料股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 蔣劍明

1.一種卷對卷浸漬鍍膜系統，其特征在于，包括依次設置的用于放置柔性薄膜的放卷臺、用于放置鍍膜液的浸漬鍍膜槽、用于放置清洗液的清洗槽、用于收取鍍膜后的柔性薄膜的收卷臺；所述放卷臺和所述收卷臺之間還設置有卷對卷傳動裝置，所述卷對卷傳動裝置設置于所述浸漬鍍膜槽和所述清洗槽的上方；所述放卷臺和所述卷對卷傳動裝置之間設有用于吸取柔性薄膜并對接到所述卷對卷傳動裝置的第一機器人；所述卷對卷傳動裝置和所述收卷臺之間設有用于從卷對卷傳動裝置吸取柔性薄膜并對接到收卷臺的第二機器人；

所述卷對卷傳動裝置包括依次設置的傳動電機、第一收放卷軸、用于固定柔性薄膜的支撐基底、用于將柔性薄膜貼合到所述支撐基底的貼合裝置、至少兩個鍍膜段張力輥、支撐基底過渡裝置、至少兩個清洗段張力輥、用于將柔性薄膜與所述支撐基底分離的分離裝置以及第二收放卷軸；

所述鍍膜段張力輥和所述清洗段張力輥位于所述第一收放卷軸和所述第二收放卷軸的下方；所述鍍膜段張力輥和所述清洗段張力輥的軸線均與所述第一收放卷軸或所述第二收放卷軸平行；所有所述鍍膜段張力輥的軸線位于同一水平面內，所有所述清洗段張力輥的軸線位于同一水平面內；所述支撐基底過渡裝置設置于所述鍍膜段張力輥和所述清洗段張力輥的上方；

所述鍍膜段張力輥設置于所述浸漬鍍膜槽的上方且位于所述浸漬鍍膜槽的兩端，使所述支撐基底的下表面貼近鍍膜液的液面；所述清洗段張力輥設置于清洗槽的上方且位于所述清洗槽的兩端，使所述支撐基底的下表面貼近清洗液的液面。

2.根據權利要求1所述的卷對卷浸漬鍍膜系統，其特征在于：所述卷對卷傳動裝置設有壓輥軌道，所述壓輥軌道設置于所述第一收放卷軸與所述貼合裝置之間；所述清洗段張力輥與所述分離裝置之間設有干燥段；所述干燥段包括依次設置的擦拭輥、風刀裝置及烘干爐。

3.一種基于權利要求1～2任一項所述卷對卷浸漬鍍膜系統的柔性透明導電材料的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、采用卷對卷磁控濺射工藝在柔性透明襯底上鍍覆一層本底膜層，形成浸漬鍍膜用的原材料柔性薄膜，然后將柔性薄膜通過收卷裝置卷成柔性薄膜卷軸；

S2、將所得柔性薄膜卷軸放置于卷對卷浸漬鍍膜裝置的放卷臺上，啟動卷對卷傳動裝置使支撐基底由第一收放卷軸向第二收放卷軸方向傳輸，通過第一機器人將柔性薄膜對接并連續貼合到支撐基底的下表面，通過貼合裝置將柔性薄膜固定于支撐基底；

S3、支撐基底繼續由第一收放卷軸向第二收放卷軸方向傳輸，通過鍍膜段張力輥的作用，調整支撐基底的位置，使貼合在支撐基底的柔性薄膜從浸漬鍍膜槽的鍍膜液中水平掠過，進行浸漬鍍膜，在柔性薄膜的本底膜層上鍍覆一層掩膜；所述鍍膜液為微球溶液；

S4、支撐基底繼續由第一收放卷軸向第二收放卷軸方向傳輸，通過支撐基底過渡裝置進行變向，并由清洗段張力輥調整支撐基底的位置，使經過浸漬鍍膜后的柔性薄膜進行清洗槽中進行清洗處理；

S5、清洗處理完成后，支撐基底繼續向第二收放卷軸方向傳輸，經過分離裝置使鍍膜后的柔性薄膜與支撐基底分離，并經第二機器人對接到收卷臺中進行收卷，得到鍍覆掩膜的柔性薄膜卷軸；成收卷后，通過控制第一收放卷軸和第二收放卷軸的運轉方向，使支撐基底回到初始位置，準備進行下一批次的操作；

S6、將所得鍍覆掩膜的柔性薄膜卷軸采用卷對卷磁控濺射工藝進行鍍膜處理，在柔性薄膜的掩膜上鍍覆一層導電膜層，然后清除掩膜，得到具有絨面結構的柔性透明導電材料。

4.根據權利要求3所述的柔性透明導電材料的制備方法，其特征在于：驟S1中所述柔性透明襯底乙烯-四氟乙烯共聚物膜、聚酰亞胺膜、聚碳酸酯膜或柔性玻璃。

5.根據權利要求3所述的柔性透明導電材料的制備方法，其特征在于：驟S1中所述本底膜層為金屬氧化物膜層或摻雜金屬氧化物膜層；驟S6所述導電膜層為金屬氧化物膜層或摻雜金屬氧化物膜層。

6.根據權利要求3所述的柔性透明導電材料的制備方法，其特征在于：驟S3中所述微球溶液為微球與水的混合液；所述微球為聚苯乙烯微球、二氧化硅微球或聚甲基丙烯酸甲酯微球。

7.一種根據權利要求3～6任一項所述的柔性透明導電材料的制備方法制得的柔性透明導電材料，所述柔性透明導電材料具有陷光結構。