[發明專利]光學濾波器器件、光學模塊以及電子設備

有效

• 申請號: 201510628093.7
• 申請日: 2015-09-28
• 公開（公告）號: CN105467577B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 齋藤大輔;藤澤里志;松野靖史;廣久保望
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G02B5/28
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 田喜慶;吳孟秋

本發明提供能夠抑制干涉濾波器的分辨率下降的光學濾波器器件、光學模塊以及電子設備。光學濾波器器件(600)具備：波長可變干涉濾波器(5)，具有彼此相對的一對反射膜和作為設有一對反射膜中任一反射膜的基板的固定基板(51)；底座(620)，固定基板(51)固定于底座(620)；以及固定部件(624)，將固定基板(51)的一處固定于底座(620)，其中，固定基板(51)的表面中的除被固定部件(624)固定以外的面與底座(620)隔著間隙(間隙(CL1))而配置。

技術領域

本發明涉及光學濾波器器件、光學模塊以及電子設備。

背景技術

現有技術中，已知有將干涉濾波器容納于框體內的光學濾波器器件，干涉濾波器中，在一對基板的彼此相對的面上隔著規定的間隙而分別相對配置有反射膜(例如參照專利文獻1)。

在專利文獻1記載的光學濾波器器件中，框體具備底座基板，干涉濾波器通過固定部件固定于底座基板。干涉濾波器的基板在與底座基板相對的相對面的一處粘接固定于該底座基板。

在該光學濾波器器件中，例如在使用粘接劑進行了粘接固定的情況下，與粘接基板的相對面的大致整面的構成相比，也能夠使從粘接劑受到的應力變小。即，基板的相對面的粘接面積越小，越能抑制來自固化時收縮的粘接劑的拉應力和由于基板與底座基板的熱膨脹系數差而產生的應力的影響。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013-167701號公報

發明內容

然而，由于干涉濾波器在與底座基板接觸的狀態下在一處被固定于該底座基板，因此，當外部干擾等引發的振動施加于了光學濾波器器件時，振動有可能經由底座基板而傳遞至該干涉濾波器，使干涉濾波器的分辨率降低。例如，有時由于被傳遞有振動的干涉濾波器以固定位置為中心發生振動，從而使反射膜間的間隙尺寸變動。另外，有時由于干涉濾波器發生振動而使基板產生形變，從而使沿著反射面的面內的上述間隙尺寸的均勻性下降。這樣，如果間隙尺寸發生變動或面內均勻性下降，則干涉濾波器的分辨率將會下降。

本發明的目的在于，提供能夠抑制干涉濾波器的分辨率降低的光學濾波器器件、光學模塊以及電子設備。

本發明的一應用例所涉及的光學濾波器器件的特征在于，具備：干涉濾波器，具有彼此相對的一對反射膜和設有所述一對反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；以及固定部件，將所述基板的一處固定于所述底座部，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分與所述底座部隔著間隙而配置。

本發明的一應用例所涉及的光學濾波器器件通過固定部件將干涉濾波器的基板的一處固定于底座部。而且，基板表面中的除固定部件固定的部分以外的部分與底座部隔著間隙而配置。

在此，在一處固定基板的情況下，例如有時會因于外部干擾的影響而使干涉濾波器的基板振動。具體而言，可例示以固定部件的固定位置為固定端、以離固定端最遠的位置(最遠部)為振幅最大的自由端的在基板厚度方向的固有振動。

在本應用例中，雖然通過固定部件在一處固定基板，但由于基板表面的固定部分以外的部分未與底座部接觸，因而能夠抑制由外部干擾引起的振動從底座部傳遞至基板。因此，能夠抑制由于外部干擾的影響而導致的上述固有振動等振動的發生。因此，能夠抑制由上述振動所引起的基板的形變，能夠抑制由于該基板的形變所造成的干涉濾波器的分辨率降低。

在本應用例的光學濾波器器件中，優選，所述固定部件固定沿著所述基板的厚度方向的側面。

在本應用例中，固定部件在一處固定沿著基板的厚度方向的側面。