[發明專利]一種延長石墨舟使用壽命的方法

有效

• 申請號: 201510626772.0
• 申請日: 2015-09-28
• 公開（公告）號: CN105470344B
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 許新湖;柯雨馨;戴亮亮
• 申請（專利權）人: 陽光中科（福建）能源股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673;H01L21/205
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司35204
• 代理人: 張松亭,游學明

1.一種延長石墨舟使用壽命的方法，包括如下步驟：

1)石墨舟烘干之后，拆成片，腐蝕或清潔表面；

2)采用等離子增強化學氣相沉積的方法鍍第一層硅膜，功率2.4-2.6kW，通SiH₄,N₂,Ar；膜厚1-2μm；

3)采用等離子增強化學氣相沉積的方法鍍第二層硅膜，功率1.9-2.1kW，通SiH₄，N₂，Ar；膜厚1-3μm；

4)采用等離子增強化學氣相沉積的方法鍍第三層硅膜，功率1.4-1.6kW，通SiH₄，N₂，H₂；膜厚2-6μm；

5)惰性氣體保護下，將溫度緩慢升至800-1000℃，對非晶硅膜進行晶化，得到晶體硅薄膜；

6)惰性氣體保護下冷卻至室溫。

2.如權利要求1所述的一種延長石墨舟使用壽命的方法，其特征在于：步驟1)的石墨舟為新出廠或是使用一段時間之后。

3.如權利要求1所述的一種延長石墨舟使用壽命的方法，其特征在于：三層硅膜的總厚度為4-10微米。

4.如權利要求1所述的一種延長石墨舟使用壽命的方法，其特征在于：步驟1)中，新的石墨舟處理如下,烘干，拆成片之后，進行如下處理：

1)鼓泡酸洗：采用濃硝酸，30-50℃；石墨舟一共浸泡2-3h，每1h設定鼓泡20-30min；

2)鼓泡水洗：2-3h，每1h換水一次，清洗時鼓泡不斷；

3)抽風烘干：溫度130-150℃，抽風，烘干時間8-20h。