[發明專利]一種用于ESD防護的STI二極管有效
| 申請號： | 201510615429.6 | 申請日： | 2015-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN106558622B | 公開（公告）日： | 2020-04-07 |
| 發明（設計）人： | 李勇 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/861 | 分類號： | H01L29/861;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京市磐華律師事務所 11336 | 代理人： | 董巍;高偉 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 esd 防護 sti 二極管 | ||
【權利要求書】：
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