[發明專利]一種掩膜板的固定組件

有效

• 申請號: 201510609112.1
• 申請日: 2015-09-22
• 公開（公告）號: CN105039907B
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 鄒成
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 張少輝;劉華聯

1.一種掩膜板的固定組件，包括：

帶有中空的蒸鍍區域的框架，所述框架用于固定覆蓋在所述蒸鍍區域上的掩膜板，所述掩膜板與所述框架的側面貼合固定；

可拆卸式設在所述框架上的且穿過所述蒸鍍區域以用于支撐所述掩膜板的支撐條；

其中，所述框架為由一對橫梁和一對縱梁組成的矩形框架，在兩個所述縱梁和/或兩個橫梁均設有用于容納所述支撐條的端部的定位槽組，位于所述縱梁上的定位槽組由沿著縱向間隔開的多個定位槽組成，并且兩個所述縱梁上的定位槽組關于所述蒸鍍區域對稱，位于橫梁上的定位槽組由沿著橫向間隔開的多個定位槽組成，并且兩個所述橫梁上的定位槽組關于所述蒸鍍區域對稱，所述支撐條具有第一拓寬部，所述定位槽具有能夠容納所述第一拓寬部并阻止所述支撐條沿著深度方向脫離的第二拓寬部，在所述框架上設有能夠在所述支撐條與掩膜板接觸時把所述支撐條固定于所述框架的固定件，所述固定件包括設在所述框架上的且穿過所述定位槽的槽底的內螺紋孔，以及能夠與所述內螺紋孔相配合的螺栓。

2.根據權利要求1所述的固定組件，其特征在于，所述支撐條構造成不遮擋所述掩膜板的蒸鍍孔。

3.根據權利要求2所述的固定組件，其特征在于，所述支撐條的橫截面為梯形，所述定位槽的橫截面與所述支撐條的橫截面相匹配的梯形。

4.根據權利要求1或2所述的固定組件，其特征在于，所述支撐條的用于支撐所述掩膜板的表面與所述框架的用于支撐所述掩膜板的表面相齊平。

5.根據權利要求1或2所述的固定組件，其特征在于，所述支撐條和框架的材料均為不銹鋼或鎳鐵合金材料。

6.根據權利要求1或2所述的固定組件，其特征在于，所述掩膜板通過激光焊接方式固定在所述框架的側面上。