[發明專利]半導體激光器陣列單巴實時測試系統及測試方法

有效

• 申請號: 201510599827.3
• 申請日: 2015-09-18
• 公開（公告）號: CN105334024B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 蔡磊;吳迪;孫翔;劉興勝
• 申請（專利權）人: 西安炬光科技股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司61211
• 代理人: 胡樂

1.半導體激光器陣列單巴實時測試系統，包括半導體激光器陣列和光接收器，其特征在于：還包括光束導光分離器和拖動機構，所述光束導光分離器設置于半導體激光器陣列與光接收器之間的光路上；光束導光分離器的體型對應于半導體激光器陣列中的單個巴條，光束導光分離器在半導體激光器陣列巴條排布方向上的端面覆有全反射膜，使得：半導體激光器陣列中僅有一個巴條發出的光進入光束導光分離器，并在光束導光分離器內經過全反射后以不同于巴條光軸的方向出射至光接收器，同時所述全反射膜避免鄰近巴條的發散光進入光束導光分離器；所述拖動機構用以拖動光束導光分離器遍歷各個巴條，光接收器依次接收每一個巴條的出光。

2.根據權利要求1所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統，其特征在于：所述光束導光分離器為透明光學器件，單個巴條發出的光垂直透過透明光學器件的第一側面進入透明光學器件，設巴條間距為p，巴條的平均快軸發散角為θ，則所述第一側面的厚度t范圍為p<t<2p，第一側面與半導體激光器陣列的距離m范圍為0<m<p/2tg(θ/2)。

3.根據權利要求2所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統，其特征在于：所述透明光學器件為平板型結構，平板上下兩面即覆于所述全反射膜，平板厚度即t，p<t<2p。

4.根據權利要求3所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統，其特征在于：設進入透明光學器件的光首先到達第二側面，則所述第二側面與巴條光軸方向的夾角α滿足第二側面上的全反射條件。

5.根據權利要求4所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統，其特征在于：所述透明光學器件為七面體，其中的第三側面與所述第一側面平行并與第二側面鄰接，使得經第二側面全反射后的光經過第三側面再一次全反射后，透過第四側面出射至光接收器。

6.根據權利要求5所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統，其特征在于：所述透明光學器件還包括第五側面，第五側面的兩端分別與第一側面和第二側面鄰接，第五側面與第四側面平行。

7.根據權利要求1至6任一所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統，其特征在于：光束導光分離器的入光面和出光面鍍有增透膜。

8.根據權利要求1所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統，其特征在于：所述光接收器采用積分球。

9.采用權利要求1所述的半導體激光器陣列單巴實時測試系統實現單巴測試的方法，主要包括以下環節：

將光束導光分離器定位于某一巴條前，使得半導體激光器陣列中僅該巴條發出的光進入光束導光分離器；

該巴條的光被光束導光分離器導出至光接收器，然后完成該巴條出光的探測；

拖動機構依次平移光束導光分離器重新定位于其他每個巴條前，最終完成各個單巴出光的探測。