[發(fā)明專利]拋光漿料的再生方法、基板的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510586902.2
• 申請(qǐng)日: 2015-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN105419645A
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 瀨戶暢介;伊藤正文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 旭硝子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02;B24B1/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 王海川;穆德駿

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及拋光漿料的再生方法、基板的制造方法。

背景技術(shù)

在液晶顯示器(LCD)等平板顯示器(FPD)中，使用玻璃基板等基板。玻璃基板經(jīng)過對(duì)由玻璃形成的原板的表面進(jìn)行拋光的拋光工序等而制造。在拋光工序中，將含有由氧化鈰等形成的拋光磨粒的拋光漿料供給至原板和拋光墊之間的界面并進(jìn)行拋光。對(duì)于由玻璃以外的陶瓷等形成的基板，也與上述同樣地經(jīng)過拋光工序等而制造。

在拋光工序中，有時(shí)重復(fù)利用拋光漿料。例如，有時(shí)通過以將拋光中使用后的拋光漿料再生后再次在拋光中使用的方式循環(huán)拋光漿料，從而重復(fù)利用拋光漿料。

通過拋光從原板除去的原板成分的微粒以拋光屑的形式混入拋光漿料中。因此，有時(shí)在拋光墊中塞滿拋光屑，從而拋光速率降低。結(jié)果，有時(shí)不能有效地進(jìn)行拋光，基板的制造效率降低。

另外，以拋光屑的形式混入拋光漿料中的原板成分的微粒有時(shí)在拋光漿料中發(fā)生聚集。特別是在循環(huán)拋光漿料的情況下，原板成分的微粒以拋光屑的形式大量混入拋光漿料時(shí)，容易發(fā)生聚集。由于該聚集而產(chǎn)生的聚集粒子在拋光時(shí)有時(shí)被按壓并附著到原板表面上。附著在原板表面上的聚集粒子大部分可以通過清洗除去，但有時(shí)一部分殘留。結(jié)果，有時(shí)基板的制造成品率降低。

為了應(yīng)對(duì)這樣的問題，提出了通過進(jìn)行使以拋光屑的形式混入拋光漿料中的原板成分的微粒可溶化的處理等，由此再生拋光漿料等方案。(例如，參見專利文獻(xiàn)1～11)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平6-254764號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2012-79368號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開平10-118899號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：日本特開2000-308967號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)5：日本特開2001-308044號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)6：日本特開2001-38153號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)7：日本特開2003-205460號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)8：日本特開2004-237163號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)9：國(guó)際公開第2005/090511號(hào)

專利文獻(xiàn)10：國(guó)際公開第2008/020507號(hào)

專利文獻(xiàn)11：日本特開2011-156646號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問題

然而，上述方案中，有時(shí)不能充分地抑制以拋光屑的形式混入拋光漿料中的原板成分的微粒聚集。

例如，對(duì)由石英(SiO₂晶體)形成的原板的表面進(jìn)行拋光時(shí)，拋光漿料中以拋光屑的形式混入的原板成分的微粒幾乎不發(fā)生聚集。與之相對(duì)，在對(duì)組成包含氧化鋁和堿土金屬氧化物的原板的表面進(jìn)行拋光時(shí)，經(jīng)常發(fā)生聚集。因此，在這種情況下，有時(shí)再生的拋光漿料中混雜有大量的氧化鋁和堿土金屬氧化物的聚集物。結(jié)果，有時(shí)難以充分地實(shí)現(xiàn)提高基板的制造效率、提高成品率等。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種可以抑制拋光漿料中拋光屑聚集物的混雜、可以易于實(shí)現(xiàn)基板制造效率的提高及成品率的提高等的拋光漿料的再生方法和基板的制造方法。

用于解決問題的手段

本發(fā)明的拋光漿料的再生方法包括再生由于對(duì)原板的表面進(jìn)行拋光而混入有該原板的成分的拋光漿料的再生工序。原板的組成至少包含氧化鋁和堿土金屬氧化物。在再生工序中，向由于拋光而從原板混入了氧化鋁和堿土金屬氧化物的拋光漿料中加入酸，然后從拋光漿料中除去氧化鋁和堿土金屬氧化物，由此再生拋光漿料。

本發(fā)明的基板的制造方法包括使用拋光漿料對(duì)原板的表面進(jìn)行拋光的拋光工序、和再生在該拋光工序中由于拋光而混入了原板的成分的拋光漿料的再生工序。原板的組成至少包含氧化鋁和堿土金屬氧化物。在再生工序中，向由于拋光而從原板混入了氧化鋁和堿土金屬氧化物的拋光漿料中加入酸，然后從拋光漿料中除去氧化鋁和堿土金屬氧化物，由此再生拋光漿料。之后，在拋光工序中，將在該再生工序中再生后的拋光漿料供給至原板的表面，由此對(duì)原板的表面進(jìn)行拋光。

發(fā)明效果

本發(fā)明可以提供一種可以抑制拋光漿料中拋光屑聚集物的混雜、可以易于實(shí)現(xiàn)基板制造效率的提高及成品率的提高等的拋光漿料的再生方法和基板的制造方法。

具體實(shí)施方式

在實(shí)施方式中，在由原板制造基板時(shí)，依次進(jìn)行準(zhǔn)備工序、拋光工序、再生工序等工序。以下，對(duì)于各工序的詳細(xì)情況進(jìn)行說明。

[A]制造方法等

[A-1]準(zhǔn)備工序

在準(zhǔn)備工序中，準(zhǔn)備作為拋光對(duì)象的原板及拋光時(shí)使用的拋光漿料。