[發明專利]可變溫測量薄膜電擊穿性能的電極裝置在審

申請號：	201510581410.4	申請日：	2015-09-14
公開（公告）號：	CN105182198A	公開（公告）日：	2015-12-23
發明（設計）人：	劉奇;王暄;李東平	申請（專利權）人：	哈爾濱理工大學
主分類號：	G01R31/12	分類號：	G01R31/12;G01R31/16
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	150080 黑龍***	國省代碼：	黑龍江;23
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摘要：
搜索關鍵詞：	可變測量薄膜擊穿性能電極裝置
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【權利要求書】：

1.本發明涉及一種可變溫測量薄膜電擊穿性能的電極裝置，其特征在于，其包括高壓電極（1）、地電極（2）、溫度傳感器（3）、電加熱片（4）、反饋式精密溫控儀（5）、千分測厚儀（6）、杠桿開關（7），所述高壓電極（1）內置溫度傳感器（3），所述電加熱片（4）封于地電極（2）中，所述杠桿開關（7）與高壓電極（2）相連，用于控制高壓電極（2）的高度。

2.如權利要求1所述高壓電極，其特征在于，其采用耐溫、耐油、高導熱的不銹鋼材料制成，表面打磨光滑，規格為直徑25mm、高30mm的圓柱體，內部嵌入溫度傳感器。

3.如權利要求1所述的地電極，其特征在于，其采用耐溫、耐油、高導熱的不銹鋼材料制成，表面打磨光滑，規格為直徑75mm、厚度為10mm的圓柱體，內部嵌入加熱裝置。

4.如權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，其采用高導熱、耐溫材質封裝于高壓電極內部，溫度傳感器誤差小于0.01攝氏度，如權利要求1所述的千分測厚儀，其特征在于，其測量精度0.001mm，測量范圍0~10mm。

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