[發(fā)明專利]一種激光加工方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510579225.1
• 申請(qǐng)日: 2015-09-14
• 公開（公告）號(hào): CN105081586B
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張培;姜利英;方潔;閆艷霞;鄧瑋;崔光照;肖小楠;周鵬磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄭州輕工業(yè)學(xué)院
• 主分類號(hào): B23K26/38
• 分類號(hào): B23K26/38;B23K26/382;B23K26/064
• 代理公司: 鄭州優(yōu)盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司41125
• 代理人: 張紹琳,張真真

1.一種激光加工方法，其特征在于，其步驟如下：

（1）由工控機(jī)控制系統(tǒng)打開激光器，使激光器發(fā)射激光光束；

（2）使激光光束通過小孔光闌，實(shí)現(xiàn)對(duì)激光光束起選模和控制半徑的作用；

（3）經(jīng)過小孔光闌后的激光光束通過準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)進(jìn)行準(zhǔn)直擴(kuò)束；

（4）準(zhǔn)直擴(kuò)束的激光通過軸棱錐光學(xué)元件變換為貝塞爾光束；

（5）貝塞爾光束通過振鏡系統(tǒng)入射到被加工材料的表面；

所述激光器為355nm 紫外激光器；所述小孔光闌為可調(diào)小孔光闌；所述準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)包括至少兩個(gè)透鏡，透鏡表面鍍有與激光器出射光束波長(zhǎng)相同的增透膜；所述軸棱錐光學(xué)元件的底角為0.5°，軸棱錐光學(xué)元件的表面鍍有與激光器出射光束波長(zhǎng)相同的增透膜；所述被加工材料的表面設(shè)置在移動(dòng)平臺(tái)上，被加工材料通過真空吸附裝置或機(jī)械裝夾方式固定在移動(dòng)平臺(tái)；

所述準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)由兩個(gè)凸透鏡組成，兩個(gè)凸透鏡之間的距離為兩個(gè)凸透鏡的焦距之和，準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)的擴(kuò)束倍數(shù)M 為第二個(gè)凸透鏡的焦距f2 與第一個(gè)凸透鏡焦距f1之比f2/f1；

所述移動(dòng)平臺(tái)一側(cè)設(shè)有吹氣或吸氣裝置；

采用上述激光加工方法的激光加工裝置，包括激光器（1）、小孔光闌（2）、透鏡Ⅰ（3）、透鏡Ⅱ（4）、軸棱錐光學(xué)元件（5）、振鏡系統(tǒng)（6）和三維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（8），所述激光器（1）、小孔光闌（2）、透鏡Ⅰ（3）、透鏡Ⅱ（4）、軸棱錐光學(xué)元件（5）和振鏡系統(tǒng)（6）的中心在一個(gè)平面上，三維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（8）位于振鏡系統(tǒng)（6）的下方。