[發(fā)明專利]化學機械研磨裝置與方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510577386.7 | 申請日： | 2015-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN106475896B | 公開（公告）日： | 2018-12-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 曾國龍;陳義元 | 申請（專利權(quán)）人： | 力晶科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/10 | 分類號： | B24B37/10;B24B53/017;B24B57/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 陳小雯 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學 機械 研磨 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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