[發明專利]一種微量液體泄漏偵測系統

在審

• 申請號: 201510575421.1
• 申請日: 2015-09-10
• 公開（公告）號: CN105043680A
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 羅鈺萌
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01M3/16
• 分類號: G01M3/16
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 張文娟;朱繪

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，具體地說，涉及一種微量液體泄漏偵測系統。

背景技術

在半導體和面板等電子行業生產過程中會使用到各種液態化學品和水。在輸送這些液態化學品和水過程中，設備、管道閥門和法蘭連接處由于長期處于壓力作用，在這些位置處很可能會導致出現微量液體泄漏。如果不能及時發現并處理這些泄漏點，則可能會導致出現大量液體泄漏事故，從而危及人身安全并造成財產損失。

目前在電子行業中廣泛采用的液體泄漏偵測系統只能偵測大量液體泄漏，而對于微量液體泄漏的情況，這些偵測系統則無法進行準確、可靠地偵測，也就無法作出極早期預警。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是為了解決現有的漏液偵測系統只能夠偵測大量液體泄漏而無法偵測微量液體泄漏的問題。為解決上述問題，本發明的一個實施例首先提供了一種微量液體泄漏偵測系統，所述系統包括：

漏液檢測模塊，其貼合設置在待檢測部位上，用于在待檢測部位存在液體泄漏時產生第一漏液響應信號；

電流放大模塊，其與所述漏液檢測模塊連接，用于對所述第一漏液響應信號進行電流放大，得到第二漏液響應信號；

I/O模塊，其與所述電流放大模塊連接，用于根據接收到的所述第二漏液響應信號產生漏液狀態信號；

監測模塊，其與所述I/O模塊連接，其用于根據所述漏液狀態信號確定所述待檢測部位是否存在微量液體泄漏，從而實現對所述待檢測部位是否存在微量液體泄漏的偵測。

根據本發明的一個實施例，所述漏液檢測模塊包括多個漏液檢測單元，所述電流放大模塊包括多個電流放大單元，所述多個漏液檢測單元貼合設置在多個待檢測部位上且與所述多個電流放大單元對應連接，所述多個電流放大單元還與所述I/O模塊的多個外接端口對應連接。

根據本發明的一個實施例，所述監測模塊還能夠根據所述漏液狀態信號，從所述多個待檢測部位中確定出存在微量液體泄露的待檢測部位，從而實現漏液的定位。

根據本發明的一個實施例，所述漏液檢測模塊包括漏液檢測帶，所述漏液檢測帶包括互不導通的第一檢測電極和第二檢測電極，其中，

當所述漏液檢測模塊中存在液體時，所述第一檢測電極與第二檢測電極之間的電連接導通。

根據本發明的一個實施例，所述第一檢測電極和第二檢測電極通過所述電流放大模塊與所述I/O模塊的兩個外接端口對應連接。

根據本發明的一個實施例，在進行微量漏液檢測時，所述I/O模塊配置為向所述第一檢測電極施加預設激勵信號，使得所述第一檢測電極與第二檢測電極之間存在預設電壓差。

根據本發明的一個實施例，所述預設電壓差的取值范圍包括[12V，30V]。

根據本發明的一個實施例，所述第一檢測電極和第二檢測電極為柔性電極。

根據本發明的一個實施例，所述漏液檢測帶還包括柔性透明的護套，所述護套包裹住所述第一檢測電極和第二檢測電極。

根據本發明的一個實施例，所述系統還包括：

告警模塊，其與所述監測模塊連接，當所述監測模塊確定出所述待檢測部位存在微量液體泄漏時，所述檢測模塊還能夠產生告警信號，以控制所述告警模塊進行告警提示。

從上述描述中可以看出，本發明所提供的微量液體泄漏偵測系統將漏液檢測模塊貼合設置在待檢測部位(例如重要設備和管道的閥門以及法蘭連接處)，只要待檢測部位發生微量液體泄漏，那么漏液檢測模塊便可以產生對應的漏液響應信號，最終由監測模塊根據該電流信號確定出發生液體泄露的待檢測部位，并通過告警模塊進行告警提示。該系統能夠偵測微量液體泄漏，并作出極早期預警，方便工作人員盡早發現微量泄漏源并及時處理，從而避免了出現液體大量泄漏的事故，避免了人員傷亡和財產損失。

本發明的其它特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發明而了解。本發明的目的和其他優點可通過在說明書、權利要求書以及附圖中所特別指出的結構來實現和獲得。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要的附圖做簡單的介紹：

圖1是根據本發明一個實施例的微量液體泄漏偵測系統的結構示意圖；

圖2是根據本發明一個實施例的漏液檢測帶的結構示意圖；

圖3是根據本發明一個實施例的微量液體泄漏偵測系統的結構示意圖。

具體實施方式