[發明專利]一種利用聚焦離子束與MEMS工藝制備0.1THz的加脊喇叭天線方法在審
| 申請號： | 201510574493.4 | 申請日： | 2015-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN105244624A | 公開（公告）日： | 2016-01-13 |
| 發明（設計）人： | 吳文剛;毛逸飛;樊姣榮;諶灼杰 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | H01Q13/02 | 分類號： | H01Q13/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 賈曉玲 |
| 地址： | 100871 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 聚焦 離子束 mems 工藝 制備 0.1 thz 喇叭天線 方法 | ||
1.一種利用聚焦離子束與MEMS工藝制備0.1THz的加脊喇叭天線方法，包括如下步驟：
1)利用氫氧化鉀(KOH)各向異性腐蝕硅的特性，對硅襯底進行KOH穿通腐蝕，形成喇叭結構；
2)同時，在喇叭口外一定位置，通過KOH腐蝕，在硅襯底上制作出定位槽；
3)在硅襯底上下表面濺射鈦/銅種子層；
4)采用噴膠和光刻工藝，在具有喇叭狀深槽結構的襯底上表面定義出電鍍區域；
5)采用電鍍銅工藝在硅襯底兩側電鍍銅，其中襯底上表面光刻膠覆蓋區域被保護；
6)通過金屬腐蝕去掉上表面的種子層；
7)通過聚焦離子束刻蝕技術，在制得的喇叭口內壁加工出各類加脊結構。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述喇叭天線縱向厚度為400-550μm(天線沿著對稱軸的長度是硅片厚度)，其喇叭口方向角度固定。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述喇叭天線內壁金屬層厚度在10-25μm。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述喇叭天線背面波導接口尺寸為2.54mm×1.27mm。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述各類加脊喇叭天線的工作頻率在0.1THz。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：將喇叭天線正面無需電鍍的區域保護住，有效避免了金屬對天線性能的干擾。
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：根據法蘭定位銷位置，在喇叭天線外一定位置腐蝕出正方形定位孔，便于測試接口定位。
8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：喇叭口內壁可以用聚焦離子束定義各類加脊結構，以便于調整提高天線性能。
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