[發明專利]一種有機EL元件蒸發鍍膜裝置在審
| 申請號： | 201510571896.3 | 申請日： | 2015-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN106521426A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 任海 | 申請（專利權）人： | 四川虹視顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 成都宏順專利代理事務所(普通合伙)51227 | 代理人： | 王偉 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 有機 el 元件 蒸發 鍍膜 裝置 | ||
【權利要求書】：
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