[發明專利]金屬柵極及其制造方法有效
| 申請號： | 201510565628.0 | 申請日： | 2015-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN105810735B | 公開（公告）日： | 2020-05-01 |
| 發明（設計）人： | 洪奇成;王喻生;蘇丁香;蘇慶煌 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/28;H01L29/49;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 柵極 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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