[發(fā)明專利]高頻電源裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510559287.6 | 申請日： | 2015-09-02 |
| 公開（公告）號： | CN105392269A | 公開（公告）日： | 2016-03-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 土生俊也 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46;H02M7/5383 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務(wù)所 31210 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 高頻 電源 裝置 | ||
1.一種高頻電源裝置，其特征在于，具備：
直流電源；
串聯(lián)諧振電路，包含等離子體生成用的感應(yīng)線圈以及電容器；
半橋式或者全橋式的開關(guān)電路，包含對從所述直流電源供給的直流電進(jìn)行切換并提供給所述串聯(lián)諧振電路的半導(dǎo)體元件；
電壓檢測部，檢測所述串聯(lián)諧振電路的高頻輸入電壓；
電流檢測部，檢測所述串聯(lián)諧振電路的高頻輸入電流；以及
等離子體接入功率檢測部，根據(jù)所述高頻輸入電壓以及所述高頻輸入電流來檢測等離子體接入功率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻電源裝置，其特征在于，
還具備電壓控制部，所述電壓控制部控制所述直流電源，以使得通過所述等離子體接入功率檢測部檢測的等離子體接入功率為恒定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的高頻電源裝置，其特征在于，
還具備檢測所述高頻輸入電壓或所述高頻輸入電流的振幅的振幅檢測部、或者檢測所述高頻輸入電壓或所述高頻輸入電流的頻率的頻率檢測部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高頻電源裝置，其特征在于，
還具備阻抗檢測部，所述阻抗檢測部根據(jù)通過所述振幅檢測部檢測到的振幅、或者通過所述頻率檢測部檢測到的頻率，檢測表示所述感應(yīng)線圈的阻抗的值。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高頻電源裝置，其特征在于，
還具備阻抗判定部，所述阻抗判定部將所述阻抗檢測部的檢測值與預(yù)先設(shè)定的閾值進(jìn)行比較。
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