[發(fā)明專利]一種超聲激勵下納米材料表面力學參量表征的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510557625.2 | 申請日: | 2015-09-02 |
| 公開(公告)號: | CN105182007B | 公開(公告)日: | 2018-05-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張輝;張淑儀;范理 | 申請(專利權(quán))人: | 南京大學 |
| 主分類號: | G01Q60/26 | 分類號: | G01Q60/26 |
| 代理公司: | 南京瑞弘專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 楊曉玲 |
| 地址: | 210093 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 納米材料表面 超聲激勵 力學參量 懸臂梁 摩擦 剪切模量 楊氏模量 泊松比 參量 探針 非線性摩擦力 非線性扭轉(zhuǎn) 納米表面 諧振頻率 樣品表面 靈敏度 力學 測量 激發(fā) | ||
1.一種超聲激勵下納米材料表面力學參量表征的方法,其特征在于,包括如下步驟:
步驟1,利用原子力顯微鏡檢測納米材料表面,通過超聲激勵納米材料表面使其產(chǎn)生相對于原子力顯微鏡的探針的表面切向位移;
步驟2,分別測量原子力顯微鏡的懸臂梁在線性和非線性條件下的扭轉(zhuǎn)振動信號,通過對信號進行傅里葉變換確定其扭轉(zhuǎn)基頻頻率;
步驟3,根據(jù)步驟1的超聲激勵納米材料表面的情況和步驟2的懸臂梁扭轉(zhuǎn)振動信號、扭轉(zhuǎn)基頻頻率建立探針與納米材料表面的摩擦力模型,進而得到探針與納米材料表面的摩擦力;
步驟4,利用小振幅超聲進行激勵,探針相對于納米材料表面的振動幅度較小,線性摩擦力等于探針與納米材料表面間的等效彈性系數(shù)與振動幅度的乘積,建立小振幅激勵的懸臂梁扭轉(zhuǎn)振動特征頻率方程;進而得到納米樣品表面的剪切模量、楊氏模量和泊松比;
步驟5,利用大振幅超聲進行激勵,探針相對于納米材料表面的振動幅度較大,根據(jù)步驟3所建立的摩擦力模型,利用諧波平衡法,懸臂梁在摩擦力模型求得的非線性摩擦力作用下,建立大振幅激勵的懸臂梁扭轉(zhuǎn)振動特征頻率方程;根據(jù)步驟步驟4得到的納米樣品表面的剪切模量、楊氏模量和泊松比,得到探針與納米材料表面間的等效彈性系數(shù),結(jié)合在非線性摩擦力作用下通過步驟2測量得到的懸臂梁扭轉(zhuǎn)振動信號,利用大振幅激勵的懸臂梁扭轉(zhuǎn)振動特征頻率方程,得到探針與納米材料表面的閾值摩擦力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲激勵下納米材料表面力學參量表征的方法,其特征在于:所述步驟1中當利用小振幅超聲進行激勵時,探針在納米材料表面產(chǎn)生小位移的線性摩擦力,當利用大振幅超聲進行激勵時,探針在納米材料表面產(chǎn)生大位移的非線性摩擦力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲激勵下納米材料表面力學參量表征的方法,其特征在于:所述步驟2中的測量懸臂梁的非線性扭轉(zhuǎn)振動信號,可以采用光線反射偏轉(zhuǎn)方法,也可直接利用激光測振儀測量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲激勵下納米材料表面力學參量表征的方法,其特征在于:所述步驟3中探針在納米材料表面產(chǎn)生非線性摩擦力,摩擦力和位移描述為回滯曲線形式。
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G01Q 掃描探針技術(shù)或設(shè)備;掃描探針技術(shù)的應(yīng)用,例如,掃描探針顯微術(shù)[SPM]
G01Q60-00 特殊類型的SPM [掃描探針顯微術(shù)]或其設(shè)備;其基本組成
G01Q60-02 .多個類型SPM,即包括兩種或更多種SPM技術(shù)
G01Q60-10 .STM [掃描隧道顯微術(shù)]或其設(shè)備,例如STM探針
G01Q60-18 .SNOM [掃描近場光學顯微術(shù)]或其設(shè)備,例如,SNOM探針
G01Q60-24 .AFM [原子力顯微術(shù)]或其設(shè)備,例如AFM探針
G01Q60-44 .SICM [掃描離子電導(dǎo)顯微術(shù)]或其設(shè)備,例如SICM探針
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