[發明專利]一種單多晶制絨設備

有效

• 申請號: 201510556630.1
• 申請日: 2015-09-06
• 公開（公告）號: CN105133039B
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 左國軍
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創精密機械有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司44247
• 代理人: 胡朝陽,孫潔敏

1.一種單多晶制絨設備，包括：設備主體、設于設備主體上的各個工位、傳動裝置和控制系統，其特征在于，所述各個工位分別為依次設置的浸泡酸制絨工位、噴淋水洗工位、烘干工位、噴淋堿制絨工位、噴淋水洗工位、浸泡堿處理工位、噴淋水洗工位、酸處理工位、噴淋水洗工位、烘干工位，所述傳動裝置用于將硅片依次傳送至各個工位，所述控制系統控制各個工位的工作開關狀態，當設備進行單晶制絨時，控制系統僅將單晶制絨所需的工位開啟；當設備進行多晶制絨時，控制系統僅將多晶制絨所需的工位開啟；

所述浸泡酸制絨工位包括：酸制絨槽、將酸制絨槽分隔成多個工作液腔室的多對隔板、用于將酸制絨液泵入工作液腔室的酸制絨泵、用于收集酸制絨槽內酸制絨液的酸制絨副槽，每對隔板的兩板之間設有間距形成用于溢流循環的緩沖腔室，該緩沖腔室底部設有與酸制絨副槽連接的輸出口；

噴淋水洗工位包括：噴淋水洗槽、設于噴淋水洗槽上方的噴淋水管、用于將水洗液泵入噴淋水管的水泵；

烘干工位包括：用于提供風源的熱風機、用于過濾風源的過濾器；

噴淋堿制絨工位包括：堿制絨槽、設于堿制絨槽上方的噴淋堿液盒、用于將堿制絨液泵入噴淋堿液盒的堿制絨泵、用于收集堿制絨槽內堿制絨液的堿制絨副槽；

浸泡堿處理工位包括：堿處理槽、將堿處理槽分隔成多個工作液腔室的多對隔板、用于將堿處理液泵入工作液腔室的堿處理泵、用于收集堿處理槽內堿處理液的堿處理副槽，每對隔板的兩板之間設有間距形成用于溢流循環的緩沖腔室，該緩沖腔室底部設有與堿處理副槽連接的輸出口；

所述酸制絨泵、水泵、熱風機、堿制絨泵及堿處理泵分別與控制系統連接，并由控制系統控制其開關狀態。

2.如權利要求1所述的單多晶制絨設備，其特征在于，所述噴淋堿制絨工位還連接有加熱裝置，所述加熱裝置由控制系統控制工作狀態。

3.如權利要求2所述的單多晶制絨設備，其特征在于，所述酸處理工位包括：酸處理槽、將酸處理槽分隔成多個工作液腔室的多對隔板、用于將酸處理液泵入工作液腔室的酸處理泵、用于收集酸處理槽內酸處理液的酸處理副槽，每對隔板的兩板之間設有間距形成用于溢流循環的緩沖腔室，該緩沖腔室底部設有與酸處理副槽連接的輸出口；

所述酸處理泵與控制系統連接，并由控制系統控制其開關狀態。

4.如權利要求2所述的單多晶制絨設備，其特征在于，所述酸處理工位包括：酸處理槽、設于酸處理槽上方的噴淋酸液盒、用于將酸處理液泵入噴淋酸液盒的酸處理泵、用于收集酸處理槽內酸處理液的酸處理副槽；

所述酸處理泵與控制系統連接，并由控制系統控制其開關狀態。

5.如權利要求3或4所述的單多晶制絨設備，其特征在于，所述加熱裝置包括：安裝在堿制絨副槽內或循環管路中的加熱器和溫度檢測儀，所述加熱器和溫度檢測儀均與控制系統連接。

6.如權利要求3或4所述的單多晶制絨設備，其特征在于，位于浸泡酸制絨工位和烘干工位之間的噴淋水洗工位未設置噴淋水洗副槽，其余噴淋水洗工位均設有用于收集噴淋水洗槽內水洗液的噴淋水洗副槽。

7.如權利要求1或3或4所述的單多晶制絨設備，其特征在于，所述浸泡酸制絨工位、噴淋堿制絨工位、浸泡堿處理工位、酸處理工位均連接有自動補液系統。

8.如權利要求7所述的單多晶制絨設備，其特征在于，所述自動補液系統包括：依次連接的進液管、補液桶、補液管；進液管和補液管上分別設置有與所述控制系統連接的控制閥，所述補液桶內設有高精度液位檢測儀，其一端從補液桶內伸出并與控制系統連接。

9.如權利要求3或4所述的單多晶制絨設備，其特征在于，依次設置的酸制絨槽、噴淋水洗槽、堿制絨槽、噴淋水洗槽、堿處理槽、噴淋水洗槽、酸處理槽、噴淋水洗槽為主槽槽組，該主槽槽組中的槽還設有擋水組件，且主槽槽組中相鄰的槽之間均設有密封結構。