[發明專利]一種石墨沉積裝置及其制備方法

有效

• 申請號: 201510541467.1
• 申請日: 2015-08-27
• 公開（公告）號: CN105002477B
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 胡丹;朱劉;胡智向
• 申請（專利權）人: 廣東先導稀材股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 趙青朵

1.一種石墨沉積裝置，其特征在于，除石墨模具之外的石墨系統表面覆蓋有一層石墨乳層；所述石墨乳層的厚度為0.05～0.1mm。

2.根據權利要求1所述的石墨沉積裝置，其特征在于，所述石墨系統包括石墨蓋板、石墨沉積裝置的腔體體壁與石墨底座；所述石墨蓋板將石墨沉積裝置的腔體與原料供給裝置的腔體隔開；所述石墨底座位于石墨沉積裝置的腔體內且其上設置有石墨模具。

3.一種石墨沉積裝置的制備方法，其特征在于，在除石墨模具之外的石墨系統表面涂覆石墨乳溶液，形成石墨乳層；所述石墨乳溶液中石墨乳與溶劑的質量比為1：(1～3)。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述石墨乳溶液為水性石墨乳水溶液。

5.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述石墨乳溶液為溶劑型石墨乳的醇溶液。

6.一種化學氣相沉積系統，其特征在于，包括權利要求1～2任意一項所述的石墨沉積裝置或權利要求3～5任意一項所制備的石墨沉積裝置。