[發明專利]一種用于承載芯片的定位平臺的旋轉中心標定方法

有效

• 申請號: 201510536974.6
• 申請日: 2015-08-28
• 公開（公告）號: CN105140164B
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 賀松平;吳文超;李斌;龔時華;李達;易江偉;歐陽銀;孫偉立
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/673
• 代理公司: 華中科技大學專利中心42201
• 代理人: 梁鵬

1.一種用于承載芯片的定位平臺的旋轉中心標定方法，其特征在于，該標定方法包括如下步驟：

(1)對放置于定位平臺的待掃描的芯片進行旋平；以預設步長逆時針旋轉所述定位平臺，使得所述待掃描的芯片旋轉，并對所述芯片進行掃描，獲取所述芯片的信息序列P{(X,Y,xIndex,yIndex)}；繼續以預設步長順時針旋轉待掃描的芯片，此次旋轉的角度大于前一步逆時針旋轉產生的角度，并再次對所述芯片進行掃描，獲取芯片的信息序列P'{(X',Y',xIndex,yIndex)}，其中，X，Y分別表示芯片的橫坐標和縱坐標，xIndex,yIndex分別表示芯片的x方向的索引和y方向的索引，X',Y'分別表示芯片旋轉后的橫坐標和縱坐標；

(2)對序列P{(X,Y,xIndex,yIndex)}、P'{(X',Y',xIndex,yIndex)}中的坐標進行篩選：根據坐標索引，以原始序列P為參考，去除P'中多出的索引對應的坐標，以原始序列P'為參考，去除P中多出的索引對應的坐標；最后根據索引生成序列N'{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}；

(3)隨機選擇序列N中的兩個元素N₁(X₁,Y₁,X′₁,Y′₁,xIndex,yIndex))，N₂(X₂,Y₂,X′₂,Y′₂,xIndex,yIndex))，求得旋轉中心O_region(X_region,Y_region)；求解公式為：

Xregion=(Y2′2-Y22)(Y1′-Y1)-(Y1′2-Y12)(Y2′-Y2)+(X2′2-X22)(Y1′-Y1)-(X1′2-X12)(Y2′-Y2)2((X2′-X2)(Y1′-Y1)-(X1′-X1)(Y2′-Y2))---(I)]]>

Yregion=(X2-X2′)(Xregion-(X2+X2′)2)(Y2′-Y2)+(Y2+Y2′)2---(II);]]>

(4)根據旋轉中心O_region，進行芯片信息序列N_s1，N_s2的規劃:規劃的具體操作為：計算序列N{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}中分量(X,Y)與O_region(X_region,Y_region)點的距離，選擇距離圓心O_region最遠的點S₁(X_s1,Y_s1)作為區域1的中心，根據預設數量Q選擇Q個距離S₁最近的元素，構成N_s1；去除N中與N_s1相交的元素，得到序列N'；設T為X方向索引號相差1的兩個芯片的距離的平方，計算獲取序列N{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}中滿足(X-X_s1)*(Y-Y_s1)<T的元素,選擇距離O_region最遠的點S₂(X_s2,Y_s2)作為區域2的中心，根據預設數量Q選擇Q個距離S₂最近的元素，構成N_s2；

(5)由獲取的坐標序列N_s1{(X₁,Y₁,X′₁,Y′₁,xIndex,yIndex))}，N_s2{(X₂,Y₂,X′₂,Y′₂,xIndex,yIndex))}，根據所述公式(Ⅰ)(Ⅱ)計算出旋轉中心的序列，求解序列的平均值，獲取新的旋轉中心。

2.一種用于承載芯片的定位平臺的旋轉中心標定方法，其特征在于，該標定方法包括如下步驟：

(1)對放置于定位平臺的芯片進行掃描，將所述定位平臺朝一個方向旋轉一個預設的角度，繼續進行一次掃描，將所述定位平臺朝相反的方向旋轉一個不同的預設的角度，進行一次掃描，以此方式進行n次掃描,并且對掃描獲取的芯片信息數據進行去重處理，即經過去重處理之后n次掃描的芯片信息處理里不包括重復的芯片索引號,其中n＝3或n大于3；

(2)隨機選取一個芯片三次掃描的位置信息，利用如下公式進行旋轉中心的計算：

若n＝3，則

X=(Y132-Y112)(Y12-Y11)-(Y122-Y112)(Y13-Y11)+(X132-X112)(Y12-Y11)-(X122-X112)(Y13-Y11)2((X13-X11)(Y12-Y11)-(X12-X11)(Y13-Y11))---(III)]]>

Y=(X11-X13)(X-X13+X112)Y13-Y21+Y11+Y132---(IV);]]>

若n＞3,則

X=AB-CD2(B2-ED)]]>

Y=AE-CB2(ED-B2)]]>

其中：

A＝N∑X_1i²Y_1i+N∑Y_1i³-∑(X_1i²+Y_1i²)∑Y_1i

B＝N∑X_1iY_1i-∑X_1i∑Y_1i

C＝N∑X_1iY_1i²+N∑X_1i³-∑(X_1i²+Y_1i²)∑X_1i

D＝N∑Y_1i²-∑Y_1i∑Y_1i

E＝N∑X_1i²-∑X_1i∑X_1i

其中N為掃描次數的數值，i為n次掃描中的第i次掃描；

(3)選取多個芯片重復進行步驟(2)的運算，獲取旋轉中心的序列，求取計算得到的所述旋轉中心序列的X、Y坐標的平均值，以其作為旋轉中心。