[發明專利]雙通孔結構的微型熱電能量采集器及其制備方法有效
| 申請號： | 201510532111.1 | 申請日： | 2015-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN106486593B | 公開（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發明（設計）人： | 徐德輝;吳利青;熊斌 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | H01L35/32 | 分類號： | H01L35/32;H01L35/04;H01L35/34 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙通孔 結構 微型 熱電 能量 采集 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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