[發明專利]半導體設備用波紋管密封性能檢驗工裝在審
| 申請號： | 201510527122.0 | 申請日： | 2015-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN106482903A | 公開（公告）日： | 2017-03-08 |
| 發明（設計）人： | 方仕彩;國建花;吳鳳麗;廉杰;杜廣宇 | 申請（專利權）人： | 沈陽拓荊科技有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/02 | 分類號： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 沈陽維特專利商標事務所(普通合伙)21229 | 代理人： | 甄玉荃,霍光旭 |
| 地址： | 110179 遼寧省*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 備用 波紋管 密封 性能 檢驗 工裝 | ||
【說明書】：
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