[發明專利]一種生產方硅芯的方法

在審

• 申請號: 201510525356.1
• 申請日: 2015-08-25
• 公開（公告）號: CN105154972A
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 林會社;郭艷旗;盧從輝
• 申請（專利權）人: 河南協鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張春;王曉麗

1.一種生產方硅芯的方法，其特征在于包括以下步驟：

1）投料取原生多晶硅、原生棒料、碳頭料、頭尾料、碎多晶、邊皮料與顆粒硅混合，采用磷硅母合金作為摻雜劑，投入石英坩堝中；

2）化料將所投物料加熱熔融，化料結束后，雜質揮發時間為2.5~3.5h；

3）拉晶引晶溫度保持在1225~1325℃之間；堝位為15~82mm之間；控制引晶直徑的范圍4~6mm，引晶長度為120~180mm；頭部拉速保持在0.88~0.95mm/min之間，然后進行放肩、等晶、收尾工序；

4）切割方硅芯拉晶后形成的硅芯圓棒，經截晶、切割得到方硅芯。

2.如權利要求1所述的生產方硅芯的方法，其特征在于步驟1）中投料的各原料按重量份數比為：原生多晶硅:原生棒料:碳頭料:頭尾料:碎多晶:邊皮料:顆粒硅=(30~70):(30~40):(20~40):(5~10):(5~35):(15~35):(5~20)，磷硅母合金的添加比例為各原料總質量的萬分之0.05~0.17。

3.如權利要求1所述的生產方硅芯的方法，其特征在于步驟1）中原生棒料為長度200~300mm的原生多晶，投料時原生棒料立于坩堝中間放置。

4.如權利要求1所述的生產方硅芯的方法，其特征在于步驟3）中通過石英坩堝的直徑、等徑的直徑、拉速、堝升計算合理的堝跟比，保持拉晶液面相對位置不發生變化。

5.如權利要求1所述的生產方硅芯的方法，其特征在于引晶鍋位為50~70mm。