[發明專利]掩膜板、陣列基板及其制造方法

有效

• 申請號: 201510516107.6
• 申請日: 2015-08-21
• 公開（公告）號: CN105093753B
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 徐向陽;張正義
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 張文娟;朱繪

本發明公開了掩膜板、陣列基板及其制造方法，掩膜板包括：第一圖案化透光區，其形成在掩膜板的一側；第二圖案化透光區，其形成在掩膜板中并處于第一圖案化透光區的對側；第一標記，其形成在第一圖案化透光區靠近掩膜板中心的一側，并距第一圖案化透光區第一預設距離；第二標記，其形成在第一圖案化透光區遠離掩膜板中心的一側，并距第一圖案化透光區第二預設距離。利用該掩膜板制造的陣列基板中某一連接端子區處于懸空狀態時，由于柵極走線上覆蓋有絕緣層，因此不易受到空氣中水汽的腐蝕以及劃傷，從而保證了陣列基板的可靠性。

技術領域

本發明涉及液晶顯示技術領域，具體地說，涉及掩膜板、陣列基板及其制造方法。

背景技術

液晶顯示器具有低輻射、體積小以及低能耗等優點，其已經逐漸取代傳統的陰極射線管顯示器而廣泛地應用在平板電視、個人電腦以及移動顯示面板等產品上。

對于大尺寸液晶顯示面板來說，由于陣列基板走線較長，線路RC時延以及線路負載較大，因此通常需要采用雙邊驅動的方式來進行驅動。然而，對于同一款產品，為滿足不同客戶的需求，液晶顯示面板的驅動方式(例如信號反轉方式和幀刷新速率等)會有所不同，因此不同的驅動方式可對應不同的電路設計。對于高刷新速率以及點反轉驅動的產品，需要的驅動成本相對較高，柵極掃描通常采用雙邊驅動的方式。

而對于雙邊驅動的陣列基板，陣列基板會包括兩個用于與柵極驅動芯片連接的端子區。當陣列基板采用單邊驅動時，現有陣列基板中的兩個端子區中的一個將不會焊接柵極驅動芯片，即該端子區將處于懸空狀態。而當端子區處于懸空狀態時，不僅很容易受到空氣中水汽腐蝕，還容易被劃傷，從而對陣列基板的質量產生影響。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是為了解決現有的陣列基板由于端子區處于懸空狀態而導致端子區被水汽侵蝕或被劃傷的問題。為解決上述問題，本發明的一個實施例首先提供了一種掩膜板，所述掩膜板包括：

第一圖案化透光區，其形成在所述掩膜板的一側；

第二圖案化透光區，其形成在所述掩膜板中并處于所述第一圖案化透光區的對側；

第一標記，其形成在所述第一圖案化透光區靠近所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區第一預設距離；

第二標記，其形成在所述第一圖案化透光區遠離所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區第二預設距離。

本發明還提供了一種制造陣列基板的方法，所述方法包括：

在基板上形成柵極走線；

在所述基板和柵極走線上形成絕緣層；

根據所制造的陣列基板的驅動類型，將曝光機內部的擋板調至與掩膜板中的第一標記或第二標記對齊，并對所述柵極走線上覆蓋的絕緣層進行刻蝕，以在所述柵極走線上方形成過孔；

在所述絕緣層上形成導電層，所述導電層通過所述過孔與所述柵極走線連接。

根據本發明的一個實施例，所述第一標記形成在所述掩膜板中第一圖案化透光區靠近所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區第一預設距離。

根據本發明的一個實施例，所述第二標記形成在所述第一圖案化透光區遠離所述掩膜板中心的一側，并距所述第一圖案化透光區第二預設距離。

根據本發明的一個實施例，所述陣列基板的驅動類型包括單邊驅動和雙邊驅動，其中，

當所制造的陣列基板為單邊驅動時，將曝光機內部的擋板調至與掩膜板中的第一標記對齊，以遮擋所述第一圖案化透光區；

當所制造的陣列基板為雙邊驅動時，將曝光機內部的擋板調至與掩膜板中的第二標記對齊，以露出所述第一圖案化透光區。