[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕劑圖形的制造方法以及印刷電路板的制造方法

有效

• 申請號: 201510514929.0
• 申請日: 2009-04-24
• 公開（公告）號: CN105182688B
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 味岡芳樹;石充;磯純一
• 申請（專利權）人: 日立化成株式會社
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/031;C08F2/50;C08F220/14
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;何楊

1.一種感光性樹脂組合物，為含有(A)粘合劑聚合物、(B)分子內具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(C)光聚合引發劑和(D)阻聚劑的感光性樹脂組合物，所述(C)光聚合引發劑包含吖啶化合物，所述(D)阻聚劑的含量為20～100質量ppm。

2.根據權利要求1記載的感光性樹脂組合物，其中，所述吖啶化合物包含以下述通式(I)表示的化合物，

通式(I)中，R¹表示碳原子數2～20的亞烷基、氧雜二亞烷基或硫代二亞烷基。

3.根據權利要求1或2記載的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)粘合劑聚合物包含含有羧基的粘合劑聚合物。

4.根據權利要求3記載的感光性樹脂組合物，其中，所述含有羧基的粘合劑聚合物含有作為聚合性單體的(甲基)丙烯酸。

5.根據權利要求1或2記載的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)粘合劑聚合物含有作為聚合性單體的苯乙烯或苯乙烯衍生物。

6.根據權利要求5記載的感光性樹脂組合物，其中，所述苯乙烯或苯乙烯衍生物的含量相對于聚合性單體總量為0.1～40質量％。

7.根據權利要求1或2記載的感光性樹脂組合物，其中，所述(B)分子內具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物包含以下述通式(II)表示的化合物，

通式(II)中，R²和R³各自獨立地表示氫原子或甲基，X和Y各自獨立地表示碳原子數1～6的亞烷基，m₁、m₂、n₁和n₂表示使m₁+m₂+n₁+n₂為0～40而選出的0～20的整數。

8.根據權利要求7記載的感光性樹脂組合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物包含2,2-二(4-((甲基)丙烯酰氧基多乙氧基)苯基)丙烷。

9.根據權利要求7記載的感光性樹脂組合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物包含R²和R³為甲基、X和Y為亞乙基、n₁和n₂為0、m₁+m₂為10的化合物。

10.根據權利要求7記載的感光性樹脂組合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物的含量相對于所述(B)分子內具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物全部為10～90質量％。

11.根據權利要求7記載的感光性樹脂組合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物的含量相對于所述(B)分子內具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物全部為20～85質量％。

12.根據權利要求7記載的感光性樹脂組合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物的含量相對于所述(B)分子內具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物全部為30～80質量％。

13.根據權利要求1或2記載的感光性樹脂組合物，其中，所述(B)分子內具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物包含以下述通式(III)表示的化合物，

通式(III)中，R⁴表示氫原子或甲基，R⁵表示氫原子、甲基、鹵代甲基的任一個，R⁶表示碳原子數1～6的烷基、鹵原子、羥基的任一個，k表示0～4的整數，其中，k為2以上時，多個存在的R⁶可以相同也可以不同。